隨著物聯網時代的逐步到來，傳感器現正被廣泛應用于包括各類智能終端、智能汽車、生物醫療等在內的眾多新興領域，需求量與日俱增。近幾年，我國物聯網產業發展綜合增長率達到了30%以上，充分體現了其強勁的發展勢頭。

潛力巨大的物聯網產業，資料圖

物聯網產業中的關鍵技術之一便是傳感器技術，MEMS傳感器已經廣泛應用于物聯網中的各個領域。目前，全球MEMS市場規模已經逼近150億美元。隨著物聯網產業的快速發展，各類終端產品的數量將達到100億以上的規模，對MEMS傳感器的市場需求也將迅速增加。

MEMS傳感技術，資料圖

MEMS技術在消費領域持續高速增長

現在，越來越多的MEMS傳感器被應用到手機中來提高手機用戶體驗。高端手機普遍裝配有加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀、硅麥克風、指紋傳感器、距離傳感器，環境光傳感器、磁傳感器等數種MEMS產品。在可穿戴產品中，MEMS器件的應用也越來越廣泛，如測量運動記錄步數的加速度傳感器、進行心率監控的心率監控傳感器、測量血氧值的血氧傳感器、感知海拔高度變化的氣壓傳感器等等。可以說，慣性傳感器已經成為了智能手機、平板電腦和可穿戴設備的標配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費電子領域的應用也正逐步普及。

多傳感器集成技術，將是今后MEMS產業發展的必然趨勢。資料圖

多傳感器集成成產業發展必然趨勢

隨著人們生活應用的不斷豐富，傳感器感測多個物理信號的功能需求也變的越來越多，多種傳感集成的MEMS器件也應運而生。如今，慣性傳感器已經出現了三軸、六軸、九軸甚至十軸的集成模塊，將MEMS加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產廠商更小體積、更低成本的要求，同時給予了用戶更加豐富的用戶體驗。

2016年，法國知名市場研究機構YoleDéveloppement提出了未來三大傳感器集成方向：密閉封裝集成傳感器、開放腔體集成傳感器和光學窗口集成傳感器。這三大集成方向無論從生產端還是用戶端，都在逐漸滿足越來越多新出現的需求，由此可見，多傳感集成已經成為未來MEMS產業發展的一種必然趨勢。

中國MEMS產業尚處于起步階段

目前，中國MEMS產業尚處于起步階段。目前，具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業仍然屈指可數，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業為主。如今，我國MEMS傳感器產品在精度和敏感度等性能指標上與國外存在巨大差距，應用范圍也多局限于傳統領域。中高檔傳感器產品幾乎100%從國外進口，90%的芯片依賴國外。

從MEMS產業的設計、制造和封裝三個環節來看，國內缺乏對MEMS相關關鍵技術的自主研發和產業化能力。我國尚無一套有自主知識產權的傳感器設計軟件，國產傳感器可靠性也遠不如國外同類產品;MEMS制造能力更為薄弱，國內具備一定規模的設計企業基本選擇國外代工廠，而多數小型設計企業選擇與科研院所的中試線綁定，這就導致產業化進程相對緩慢;我國的MEMS封裝尚未形成系列、標準和統一接口。

由于我國MEMS產業起步較晚，我國的MEMS傳感器產品多處于技術相對成熟、市場格局相對穩定的傳統MEMS應用領域，而新興領域的MEMS產品在測量精度、溫度特性、響應時間、穩定性、可靠性等方面與國外差距較大，尚未形成具有市場競爭力、較為完善的產品系列，產品結構略顯單薄。