薄膜集成電路,薄膜集成電路是什么意思
薄膜集成電路,薄膜集成電路是什么意思
thin film hybrid integrated circuit
在同一個基片上用蒸發(fā)、濺射、電鍍等薄膜工藝制成無源網(wǎng)路,并組裝上分立的微型元件、器件,外加封裝而成的混合集成電路。所裝的分立微型元件、器件，可以是微型元件、半導體芯片或單片集成電路。
按無源網(wǎng)路中元件參數(shù)的集中和分布情況，薄膜集成電路分為集中參數(shù)和分布參數(shù)兩種。前者適用范圍從低頻到微波波段，后者只適用于微波波段。
1.特點與應用 與厚膜混合集成電路相比較，薄膜電路的特點是所制作的元件參數(shù)范圍寬、精度高、溫度頻率特性好，可以工作到毫米波段。并且集成度較高、尺寸較小。但是所用工藝設備比較昂貴、生產(chǎn)成本和自動化生產(chǎn)，一般使用標準基片。
在基片上形成薄膜有多種方法。制造薄膜網(wǎng)路常用物理汽相淀積(PVD)法,有時還用陽極氧化或電鍍法。在物理汽相淀積法中，最常用的是蒸發(fā)工藝和濺射工藝。這兩種工藝都是在真空室中進行的，所以統(tǒng)稱為真空成膜法。用這兩種方法，可以制造無源網(wǎng)路中的無源元件、互連線、絕緣膜和保護膜。陽極氧化法可以形成介質膜，并能調整電阻膜的阻值。在制造分布參數(shù)微波混合集成電路時，用電鍍法增加薄膜微帶線的厚度，以減少功耗。
3.薄膜材料 在薄膜電路中主要有四種薄膜：導電、電阻、介質和絕緣薄膜。導電薄膜用作互連線、焊接區(qū)和電容器極板。電阻薄膜形成各種微型電阻。介質薄膜是各種微型電容器的介質層。絕緣薄膜用作交叉導體的絕緣和薄膜電路的保護層。各種薄膜的作用不同，所以對它們的要求和使用的材料也不相同。
對導電薄膜的要求除了經(jīng)濟性能外，主要是導電率大，附著牢靠，可焊性好和穩(wěn)定性高。因尚無一種材料能完全滿足這些要求，所以必須采用多層結構。常用的是二至四層結構，如鉻-金（Cr-Au）、鎳鉻-金（Ni Cr-Au）、鈦-鉑-金（Ti-Pt-Au）、鈦-鈀-金（Ti-Pd-Au）、鈦-銅-金（Ti-Cu-Au）、鉻-銅-鉻-金（Cr-Cu-Cr-Au）等。
微型電容器的極板對導電薄膜的要求略有不同，常用鋁或鉭作電容器的下極板，鋁或金作上極板。
對電阻薄膜的主要要求是膜電阻范圍寬、溫度系數(shù)小和穩(wěn)定性能好。最常用的是鉻硅系和鉭基系。在鉻硅系中有鎳-鉻(Ni-Cr)、鉻-鈷（Cr-Co）、鎳-鉻-硅（Ni-Cr-Si）、鉻-硅（Cr-Si）、鉻-氧化硅(Cr-SiO)、鎳鉻-二氧化硅（NiCr－ ）。屬于鉭基系的有鉭（Ta）、氮化鉭（Ta2N）、鉭-鋁-氮（Ta－Al－N）、 鉭-硅（Ta-Si）、鉭-氧-氮（Ta-O-N）、鉭-硅-氧（Ta-Si-O）等。
對介質薄膜要求介電常數(shù)大、介電強度高、損耗角正切值小,用得最多的仍是硅系和鉭系。即氧化硅（SiO）、二氧化硅（）、氧化鉭（ ）和它們的雙層復合結構： -SiO和 -SiO2。有時還用氧化釔( )，氧化鉿( )和鈦酸鋇( )等。
為了減小薄膜網(wǎng)路中的寄生效應，絕緣薄膜的介電常數(shù)應該很小,因而采用氧化硅（SiO）、二氧化硅( )、氮化硼（BN）、氮化鋁（AlN）、氮化硅 （ ）等，適合于微波電路。
非常好我支持^.^
(1) 100%
不好我反對
(0) 0%
相關閱讀：
- [電子說] 集睿致遠CS5266 TYPEC to HDMI帶PD+U3拓展塢方案 2023-10-24
- [電子說] 歐萊新材IPO觀察丨堅持自主創(chuàng)新，為制造業(yè)高質量發(fā)展賦能添彩 2023-10-24
- [電子說] 一分鐘了解電子元器件 2023-10-24
- [電子說] 力特推出新型電子保險絲保護集成電路LS05006VPQ33 2023-10-24
- [制造/封裝] 光學光刻技術有哪些分類 光刻技術的原理 2023-10-24
- [電子說] TR-PP-11B手持式軍用電臺拆解 2023-10-24
- [電子說] 555定時器的工作模式 2023-10-24
- [電子說] ATA-2161高壓放大器在壓電薄膜傳感器心臟監(jiān)測研究中的應用 2023-10-23
( 發(fā)表人：admin )
發(fā)表評論
深度閱讀
- PCB表面鍍金工藝，還有這么多講究！ 10-24
- 募資240億，新加坡GP看準數(shù)字化產(chǎn)業(yè)鏈 10-19
- 阿里云輕量云服務器市場“帝位”穩(wěn)固？這位“挑戰(zhàn)者”來勢洶 10-19
- 嵌入式視覺技術如何賦予機器觀察能力 10-18
- 基于FPGA的Aurora 8b10b光通信測試方案 10-01
相關下載
電子百科閱讀排行
- 運算放大器工作原理是什么? 03-09
- 光電耦合器工作原理詳細解說 03-01
- 編碼器工作原理,光電編碼器的工作原理分析 03-08
- PC817光耦的作用和工作原理 09-13
- 半導體制冷片如何散熱？原理解析 11-21
- 可控硅工作原理是什么?(圖) 03-03
- IGBT的工作原理是什么? 03-05
- 電壓比較器,電壓比較器原理是什么? 03-09
- 半導體制冷片工作原理及使用 09-03
- 發(fā)光二極管的工作原理圖解分析 04-13