什么是壓力傳感器

壓力傳感器是由壓力敏感元件和檢測線路組成的。傳統壓力傳感器的壓力敏感元件是膜盒式結構，該結構的傳感器具有結構簡單、價格便宜等優點，但由于受到材料本身所固有的彈性遲滯后效誤差和彈性模量的溫度誤差的影響，而使該結構的傳感器存在精度不高，工作穩定性差，工作壽命短等缺點。

近年來隨著固體物理的不斷發展，固體的各種效應已逐漸被人們所發現。固體受到作用力后，電阻率(或電阻)就要發生變化，這種現象稱為壓阻效應。把固體的壓阻效應應用到壓力測量中，可以克服傳統膜盒式結構壓力傳感器的許多缺點。這里固體主要是指單晶硅等半導體材料利用硅的壓阻效應和集成電路技術制成的壓阻式傳感器，具有靈敏度高、動態響應快、測量精度高、穩定性好、易于小型與微型化、便于批量生產與使用方便等特點。因而，它是一種發展迅速、應用廣泛的新型傳感器，所以國內外一些傳感器生產廠家己逐漸淘汰了膜盒式結構的壓力傳感器，取而代之的就是壓阻式壓力傳感器。但是壓阻式傳感器是用半導體材料制成的，半導體材料對溫度比較敏感，所以以半導體材料作為敏感元件的傳感器的溫度特性比較差，溫度漂移非常大;它特殊的加工工藝又使其非線性誤差也比較大。因此較大的溫漂和非線性誤差，而使壓阻式傳感器的使用受到了限制。但它的重復性非常好，所以可通過對溫度漂移誤差和非線性誤差進行補償，來提高它的溫度使用范圍。

目前，傳感器在很多方面存在嚴重不足，因結構尺寸大，時間（頻率）響應特性差，輸入輸出特性存在非線性，且隨時間漂移，參數易受環境條件變化的影響而漂移等。因此，壓力傳感器的研究還應該向如下方向發展：1、向高精度方向發展。2、向高可靠性、寬溫度范圍方向發展。3、向微型化發展。4、向微功耗及無源化發展。5、向智能化數字化發展。

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