半導體產業中的檢測設備，主要用于檢測產品在生產過程中和成品產出后的各類性能是否達到當初IC設計廠的要求。而檢測設備主要包含工藝檢測（線上參數測試）、晶圓檢測（CP 測試）、終測（FT 測試）。

中國相關企業目前主要在晶圓檢測和終測領域有較活躍的發展。而這兩大環節的檢測設備價值量約占整體半導體制造設備產值約9% 左右。

目前全球半導體檢測設備產業主要呈現美商Teradyne、日商Advantest 兩家壟斷的局面。雖然檢測設備相對于晶圓代工設備，如光刻、刻蝕等設備而言，制造技術難度低。但檢測設備涉及到度量衡標準，因此仍能形成強大的技術壁壘。

中國檢測設備制造商則是以長川科技、北京華峰、華興源創等公司各自在不同細領域中尋求突破，以分食這些國際大廠在中國的市占。

根據SEMI估算，2018～2020年中國半導體制造設備投資額約為人民幣 1550億元、人民幣 1604億元、人民幣 1702億元。

依照過去經驗，檢測設備約占總設備投資的17%（其中，晶圓檢測部份為9%，過程工藝控制為8%）。因此，2018～2020年中國檢測設備需求分別為人民幣 264億元、人民幣 273億元、人民幣 289億元。但隨著中國測試成本比重逐年升高，實際需求有機會超過歷史經驗。

此外，SEMI最新預估指出，由于智慧手機和記憶體市場需求低迷，2019年半導體設備產值將年減18%，達527億美元。不過，隨著記憶體投資復蘇和中國新建及擴建產能，預計2020年設備銷售額將年增12%，達588億美元。

SEMI 指出2017～2020 年全球62 座新投產的晶圓廠中有26 座來自中國，占全球總數42%。同時，SEMI 也預計中國將成為全球半導體制造設備的最大市場。

由于全球半導體產業重心漸漸偏向中國，這對于中國本土設備制造商是一項利多。目前長川科技、北京華峰、精測電子、華興源創等都已經布局研發測試機臺，其中，長川科技主要布局在功率元件測試機，且已經對中國本土封測廠出貨。

精測電子則聯合三星供應商IT&T，打入中國記憶體和面板驅動晶片檢測設備市場。至于，科創板新星- 華興源創主要布局在SoC 測試機領域。

不過整體而言，中國測試設備制造仍在起步階段，高階機臺要突破美、日大廠仍需一段較長的期間。