關于電容式壓力傳感器 ICP-101xx 系列的性能分析和應用介紹
MEMS電容技術能以最低功率實現(xiàn)超低噪音，獲得行業(yè)領先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩(wěn)定性，TDK-InvenSense氣壓傳感器系列就是基于這項技術開發(fā)的。該壓力傳感器能以±1Pa的精度測量壓力差，這個精度可使高度測量差小至5cm，小于一級臺階的高度。
TDK ICP-101 xx壓力傳感器系列就是基于MEMS電容技術，以最低功率提供超低噪音，獲得行業(yè)領先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩(wěn)定性。
電容壓力傳感技術克服了以往壓阻技術的諸多挑戰(zhàn)，提高了整體性能。下面是這兩種結構的比較 ：
| 電容壓力傳感器的優(yōu)勢 |
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壓阻 測量應變 |
電容 測量電容 |
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隔膜 頂視圖  |
隔膜 側視圖  |
| 檢測因應力發(fā)生的隔膜變形將應力轉換成電信號 | 直接將隔膜變形轉換成電信號 |
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電容壓力傳感器的優(yōu)點： 功率?。簻y量電容時無電流消耗 ?相同性能下的功耗更低 ?在相同功耗下性能更好 噪聲低：壓阻的熱噪聲從根本上限制了靈敏度/分辨率 溫度穩(wěn)定性更好：壓阻對溫度非常敏感 精度高:電容原理實現(xiàn)相對壓力變化的更高靈敏度和分辨率 |
噪音和功率
電容壓力傳感器的結構優(yōu)勢實現(xiàn)了無與倫比的超低噪聲和功率水平，超過壓阻傳感器所能達到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx電容壓力傳感器系列與普通工業(yè)壓阻傳感器的噪音和功率圖（輸出數(shù)據(jù)速率為1Hz時） ：
圖1 噪音和功率
ICP-101 xx壓力傳感器系列的本底噪聲小于0.4Pa-RMS，實現(xiàn)了小于±1Pa的壓力測量差，這個精度使高度測量差小到5cm，小于一級臺階的高度。
圖2最低壓力噪音和相對精度
溫度穩(wěn)定性
壓阻與電容壓力傳感器
因為壓阻對溫度變化非常敏感，電容壓力傳感器天生就比基于壓阻的傳感器具有更高的溫度穩(wěn)定性。ICP-101xx壓力傳感器系列實現(xiàn)了行業(yè)領先的溫度系數(shù)偏差±0.5Pa/°C，使設備在一個很寬的溫度范圍內非常穩(wěn)定。
TDK的電容壓力傳感器具有超低噪音、超低功率和溫度穩(wěn)定性，達到了新的性能水平，使現(xiàn)有的壓阻技術不可能實現(xiàn)的用例成為可能。
| 用途 | 新用例 |
| 可穿戴設備 | 改進的運動追蹤使活動識別和更好的熱量計算成為可能 |
| 移動設備 | 通過改進的移動路徑標識(樓梯、自動扶梯、電梯)獲得改進的室內地圖路線和移動時間，E911 |
| 無人機 | 在一個很寬的溫度范圍內改進高度保持性和穩(wěn)定性，使飛行控制用戶體驗更加穩(wěn)定 |
| 數(shù)據(jù)通信和個人呼吸設備 | 低于帕斯卡級別的本底噪聲實現(xiàn)了低背封裝的低閾值和高精度空氣流量測量 |
| 安全系統(tǒng) | 根據(jù)壓力（代替容易失效的加速度計和簧片開關）測量垂直窗口位移 |
以上就是TDK電容式壓力傳感器 ICP-101xx系列的相關產品介紹，更多詳細信息請點擊“閱讀原文”進行查看。
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