SAN JOSE - Numerical Technologies Inc.宣布收購私營轉讓企業有限公司廣泛使用的軟件將IC設計數據文件轉換為生產光掩模的格式。
NumeriTech表示,位于加利福尼亞州Los Gatos的Transcription Enterprises將繼續銷售其計算機輔助轉錄系統(CATS)。獨立供應商,但這兩項業務現在將用于亞波長光刻的高度集成和優化的解決方案。沒有關于此次收購的財務細節。
私有企業NumeriTech一直在擴展其復雜光掩模設計軟件產品,這些復雜光掩模用于打印小于光波長的設備特征尺寸。這些亞波長技術包括相移和光學鄰近校正(OPC)。許多主要的IC制造商已經開始使用NumeriTech的技術,使用現有的248納米光刻工具將特征尺寸推向0.13微米以下。
但是由于“切換之間的”切換,亞波段光罩的推進將變得更加困難。設計和制造步驟,“YC警告說(Bruno)NumeriTech總裁Pati。 “除非妥善處理,否則它將成為一個不斷增長的瓶頸。”
最初,NumeriTech開始與Transcription Enterprises合作探索亞波長光掩模的創新解決方案,但很快管理人員意識到“非常適合”合并,帕蒂說。 “在與客戶討論OPC和相移解決方案的同時,我們也被要求整合大部分的面罩準備任務,”他回憶道。 “事實證明,提供最佳解決方案的整合水平是合并兩家公司。”
十四歲的轉錄企業現在聲稱提供超過90%的轉換工具GDS II數據文件將芯片設計操作轉移到掩模制作步驟。 “我們開始專注于面具店,并且也進入了專賣店,”成為NumeriTech轉錄子公司副總裁兼總經理的Kevin MacLean說。 “我們的目標始終是將設計和面具店聯系在一起。過去這些操作已脫節,因為人們相信他們設計的東西幾乎會出現在晶圓上。
”過去十年來,我們不得不將這些過程與設計數據文件和光掩模生產軟件緊密結合在一起,以實現更好的通信和更少的錯誤,“MacLean解釋道。
CATS軟件已從面具書寫工具的數據準備擴展到其他他表示,客戶正在尋求進一步擴展先進的分辨率技術,例如選擇性尺寸,頂點處理和其他元素,“MacLean解釋說,他們指的是制作高產亞波長的棘手任務。掩模。
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