韓國媒體朝鮮日報日文版、中央日報日文版3日、4日報導,三星電子已開始在部分半導體產線上使用國產(韓國制)氟化氫。三星于3日宣布,“最近、已開始在部份半導體工藝上投入國產氟化氫”。此為三星在日本提出管制令約2個月時間就開始采用國產品來替代日本制產品,替代作業較預期來得更快。業界原先預期要在半導體工藝上使用替代品恐需3-6個月時間。
報導指出,三星已從8月中旬開始在部分半導體工藝上使用由韓國SoulBrain和ENF Technology所制造的氟化氫。該兩家公司原先是從日本森田化學工業、Stella Chemifa進口高純度氟化氫、并經過精制后,出貨給三星,而此次是使用中國制無水氫氟酸、成功制作出純度99.999%的氟化氫液狀產品。
據報導,在500個以上半導體工藝中、約50個工藝需使用到氟化氫,而三星在其中的1-2個工藝上開始使用國產品替代日本制產品。氟化氫是使用于半導體/面板蝕刻、洗凈工程所必需的關鍵材料,據韓國貿易協會指出,截至2019年5月底為止、韓國對日本制氟化氫的依賴度達43.9%。
純度99.999%以上的高純度氟化氫目前由森田化學工業、Stella Chemifa等日廠掌控全球70%以上市占率。
韓聯社3日報導,韓國半導體大廠SK Hynix正測試國產氟化氫,面板大廠LG Display(LGD)則已開始使用國產氟化氫、Samsung Display也預估將在近日內完成替代品的測試。
日本政府于7月初對韓國提出第一波管制令、自7月4日起加強光阻劑、氟化氫和氟化聚醯亞胺等3項半導體關鍵材料對韓國的出口管制。而從該管制令上路來,目前日本政府僅發出3件出口許可(分別在8月7日、19日和29日),其中2件為光阻劑、一件為氟化氫,且皆是出貨給三星使用。
根據日本財務省8月29日公布的品項別貿易統計數據顯示,2019年7月份日本對韓國的“氟化氫”出口量為479噸、較前月份(6月份)相比驟減83.7%(較去年同月相比驟減82.4%);對韓國的“氟化氫”出口額為4.97億日元、較前月份大減32.6%。
共同通信、韓聯社8月28日報導,韓國政府和執政黨共同民主黨、青瓦臺(總統府)于28日舉行了日本出口管制相關狀況檢查/對策委員會會議,決定自2020年起的3年內(2020-2022年)砸下5萬億韓元預算、推動材料/零件/制造設備的國產化,目標是擺脫材料/零件大多需仰賴日本進口的產業結構。
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