由于日韓兩國(guó)之間的貿(mào)易糾紛,日本政府7月初決定禁止三種重要半導(dǎo)體、顯示面板材料出口給韓國(guó),迫使韓國(guó)公司走上獨(dú)立自主的道路。LG公司日前證實(shí),旗下面板工廠已經(jīng)完成使用國(guó)產(chǎn)氟化氫材料取代日本進(jìn)口,100%韓國(guó)產(chǎn)。
高純度的電子級(jí)氟化氫是氟精細(xì)化學(xué)品的一種,在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學(xué)物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細(xì)槽或孔等流程,是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中非常重要的原材料,日本公司在這個(gè)領(lǐng)域占據(jù)主要份額。
在日本發(fā)布出口限制之后,8月份對(duì)韓國(guó)出口的氟化氫材料就降至0了,但是此舉并沒有影響三星、SK海力士及LG等韓國(guó)公司的芯片、面板生產(chǎn),他們利用庫(kù)存3-5個(gè)月的時(shí)間積極展開國(guó)產(chǎn)替代,其中氟化氫是比較容易取得成功的領(lǐng)域。
相比半導(dǎo)體生產(chǎn),面板生產(chǎn)所需的高純度氟化氫也更容易取代,所以LG公司在這方面率先取得了進(jìn)展,9月初就宣布使用韓國(guó)產(chǎn)的氟化氫取代日本進(jìn)口材料,試驗(yàn)結(jié)果很成功。
此前LG取代的主要是氣態(tài)氟化氫,現(xiàn)在難度更高的液態(tài)氟化氫的國(guó)產(chǎn)替代也成功了,14日LG旗下的LGD公司表示面板生產(chǎn)過(guò)程使用的液態(tài)氟化氫已經(jīng)于近期全面替換為韓國(guó)產(chǎn)品,未來(lái)將不再使用日本公司的進(jìn)口產(chǎn)品。
與LG相比,三星、SK海力士也在積極展開日本材料的替換工作,不過(guò)這兩家的主力產(chǎn)品是半導(dǎo)體芯片,對(duì)日產(chǎn)氟化氫以及另外兩種材料光刻膠、氟化聚酰亞胺的依賴性比LG更高,替換起來(lái)沒這么容易。
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