氣動執行器是用氣壓力驅動啟閉或調節閥門的執行裝置，又被稱氣動執行機構或氣動裝置，不過一般通俗的稱之為氣動頭。在現代自動化、智能化工廠中，特別是在氣體傳輸技術領域中，氣動執行器得到了廣泛的應用，為實際應用生產發揮著極為重要的作用。

氣動執行器通常用于控制需要快速和準確響應的過程，因為它們不需要大量的動力。然而，當需要大量的力來操作閥門（例如，主蒸汽系統閥門］）時，通常使用氣壓致動器。雖然氣動執行器有許多設計，但活塞類型最常見。而在現有的氣動執行器在實際應用中，當氣動執行器因自身故障而造成氣流堵塞時，由于氣動執行器本身沒有檢測報警裝置，因而無法及時提醒工作人員發現故障，容易造成生產的安全隱患。

為解決上述問題需要一種能夠在實際應用中實時檢測氣流輸送狀態的氣體流量檢測裝置，以便及時發現故障進行處理，從而及時消除安全隱患。氣體流量傳感器 － FS5001L來檢測氣流輸送狀態的氣體流量。

FS5001L系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實現在小空間內的多傳感器集成。

FS5001L氣體流量傳感器產品特點

傳感器靈敏度高，有極小的始動流量

表貼式安裝，結構緊湊

多種信號輸出

零點穩定度高

全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性

低功耗、低壓損

FS5001L氣體流量傳感器機械尺寸

FS5001L氣體流量傳感器技術參數

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