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京儀裝備首臺12寸雙臂晶圓倒片機研發成功:實現每小時300片以上的倒片速度

工程師鄧生 ? 來源:IT之家 ? 作者:騎士 ? 2020-12-09 15:44 ? 次閱讀

京儀裝備宣布,近日,在晶圓倒片機的研發上,京儀裝備又實現了重大突破,自主研發出高速集成電路制造晶圓倒片機(12 吋雙臂晶圓倒片機),同時通過了北京市首臺(套)重大技術裝備評定。

IT之家獲悉,晶圓倒片機在集成電路制造業應用廣泛,隨著生產線自動化水平的提高,高效率、高可靠性、高潔凈度、高適配性及易維護性一直是其發展方向,晶圓倒片機在生產線上的應用越來越多,市場需求量越來越大。

京儀裝備表示,對晶圓倒片機的整機研發屬國內首例,其關鍵零部件 ——機械手,具備完整自主知識產權。該產品成功實現每小時 300 片以上的倒片速度,技術指標達到國際先進水平。

責任編輯:PSY

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