遼寧證監局披露了拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）輔導備案基本情況表。信息顯示，拓荊科技于2021年1月28日與招商證券簽訂輔導協議，并于同日進行了輔導備案。

據官網介紹，拓荊科技成立于2010年4月，是由海外專家團隊和中科院所屬企業共同發起成立的國家高新技術企業，專業從事高端半導體薄膜設備的研發、生產、銷售與技術服務。

該公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學氣相沉積設備）、ALD（原子層薄膜沉積設備）、3D NAND PECVD（三維結構閃存專用PECVD設備）三個完整系列產品，產品廣泛應用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術領域。

拓荊科技三次承擔國家“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝科技重大專項（02專項）”。通過多年技術積累，該公司已形成自主知識產權體系，截止到2020年9月底，累計申請專利453項。

根據官網信息，2017年4月，拓荊科技位于沈陽市渾南區的新廠正式啟用。新廠占地80畝，總建筑面積4萬平方米，擁有十級、百級、千級潔凈廠房共計2800平方米，一期可實現年產100臺套，二期投產將達到年產350臺套設備的生產能力。

2018年9月，由拓荊科技自主研制的12英寸原子層沉積（ALD）設備FT-300T通過了客戶的驗收。

企查查資料顯示，拓荊科技的前三大股東分別為國家集成電路產業投資基金股份有限公司（26.48%）、國投（上海）科技成果轉化創業投資基金企業（有限合伙）（18.23%）、中微半導體設備（上海）股份有限公司（11.2%）。
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