據(jù)麥姆斯咨詢報道,先進半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)品和材料解決方案的全球供應(yīng)商IQE在IQepiMo模板(templates)技術(shù)開發(fā)方面取得了重大的里程碑進展,助力高性能體聲波(BAW)射頻濾波器量產(chǎn)。IQE客戶的設(shè)備數(shù)據(jù)顯示,與現(xiàn)有技術(shù)相比,使用IQE模板制造的BAW濾波器表現(xiàn)出更好的性能。
自2020年11月發(fā)布公告以來,IQE已經(jīng)與潛在客戶和合作伙伴一起試用了IQepiMo產(chǎn)品。最新數(shù)據(jù)表明,與傳統(tǒng)技術(shù)相比,IQepiMo使客戶能夠?qū)崿F(xiàn)改進的機電耦合系數(shù)(k2)——這是衡量射頻濾波器性能的一項關(guān)鍵指標。
初步數(shù)據(jù)顯示,在6GHz頻率下,k2增大了40%。目前,產(chǎn)業(yè)界發(fā)現(xiàn)在這些較高頻率下使用傳統(tǒng)的BAW濾波器技術(shù)很難獲得高性能。這些數(shù)據(jù)證實了使用IQepiMo可以獲得優(yōu)異的材料質(zhì)量,在5G應(yīng)用的高頻范圍內(nèi),能夠顯著提升BAW濾波器性能。
IQE及其合作伙伴仍在進行更多的試驗和測試,以進一步完善這項技術(shù),以滿足高端BAW過濾器的各項需求。預(yù)計IQE模板將為高Sc摻雜的ScAlN BAW濾波器設(shè)計帶來明顯優(yōu)勢,該設(shè)計將在更高的5G應(yīng)用頻率下形成高性能濾波器的關(guān)鍵組成部分。隨著BAW濾波器中Sc含量的增加,保證聲學(xué)材料的高質(zhì)量和高性能變得越來越具有挑戰(zhàn)性。IQepiMo為客戶提供了一條克服這些固有挑戰(zhàn)的途徑,同時仍然使用其當前的基礎(chǔ)架構(gòu)和流程。
IQepiMo建立在IQE cREO技術(shù)平臺上(該平臺于2018年3月被IQE收購),可提供的模板直徑最大為200mm。
IQE首席技術(shù)官Rodney Pelzel博士表示,“IQE為廣泛的半導(dǎo)體行業(yè)投資研發(fā)獨特的材料技術(shù),我們?yōu)榭蛻籼峁└倪M的5G射頻器件性能和解決方案,并且目前處于領(lǐng)先地位。這是我們IQepMo模板技術(shù)的關(guān)鍵里程碑,可以為客戶提供必要的手段,使他們當前的基礎(chǔ)架構(gòu)和流程能夠提供5G濾波器所需的苛刻性能,尤其是在更高的頻率應(yīng)用環(huán)境。”
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原文標題:IQE最新IQepiMo技術(shù)提升BAW濾波器性能,以滿足5G高頻需求
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