中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012)今日宣布其MOCVD設(shè)備迎來又一里程碑：Prismo UniMax MOCVD設(shè)備訂單超100腔。Prismo UniMax MOCVD設(shè)備于今年6月正式發(fā)布，主要用于氮化鎵(GaN)基Mini LED外延片量產(chǎn)。Mini LED可被廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。

中微公司所開發(fā)的Prismo UniMax MOCVD設(shè)備憑借優(yōu)異的波長均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢迅速獲得了市場認(rèn)可;專業(yè)及時的現(xiàn)場支持和客戶服務(wù)也是客戶看重的優(yōu)勢之一。產(chǎn)品正式發(fā)布半年內(nèi)取得超過100腔訂單，這一卓越里程碑進(jìn)一步鞏固了中微公司在MOCVD設(shè)備市場的領(lǐng)先地位。

Prismo UniMax MOCVD設(shè)備專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計，通過創(chuàng)新的多區(qū)溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度上提升LED波長均勻性。此外，優(yōu)化的噴淋頭設(shè)計實(shí)現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性，新一代直流電源進(jìn)一步提升了電能轉(zhuǎn)化效率。

Prismo UniMax具有行業(yè)領(lǐng)先的高產(chǎn)能和生產(chǎn)靈活性。設(shè)備配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計，最多可以同時加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高產(chǎn)能并有效降低Mini LED生產(chǎn)成本。Prismo UniMax在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個反應(yīng)腔，每個反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制。

Prismo UniMax是中微公司MOCVD設(shè)備系列的最新產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7和Prismo HiT3。2013年，Prismo D-BLUE作為當(dāng)時國內(nèi)率先自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備正式發(fā)布。此后，公司相繼發(fā)布Prismo A7和Prismo HiT3產(chǎn)品。如今，中微公司的MOCVD設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上全面投入量產(chǎn)。

中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運(yùn)營官杜志游博士認(rèn)為，Prismo UniMax被客戶迅速采用主要?dú)w功于中微公司在MOCVD設(shè)備和工藝領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新，并與領(lǐng)先客戶保持密切合作。“隨著客戶進(jìn)一步拓展新的應(yīng)用，我們很自豪能通過極具競爭力的技術(shù)解決方案，來滿足客戶Mini LED大規(guī)模量產(chǎn)的需求。這一里程碑充分證明了我們Prismo系列MOCVD設(shè)備的性能優(yōu)勢，以及我們在客戶合作中體現(xiàn)的值得信賴的專業(yè)技能。”

Prismo D-BLUE, Primo A7, Prismo HiT3 and Prismo UniMax 是中微公司的注冊商標(biāo)。

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012)致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。

原文標(biāo)題：中微公司Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備訂單超100腔

文章出處：【微信公眾號：中微公司】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

審核編輯：湯梓紅