MEMS傳感器被認(rèn)為是汽車(chē)不可缺少的部件，它對(duì)于提升汽車(chē)性能和駕駛體驗(yàn)，有著顯著作用。研究機(jī)構(gòu)數(shù)據(jù)顯示，平均每輛汽車(chē)包含10個(gè)傳感器，而高級(jí)汽車(chē)會(huì)約用20至30只MEMS傳感器。寶馬、奧迪、奔馳車(chē)的高端車(chē)型傳感器普遍超過(guò)40個(gè)，越是高端的汽車(chē)采用的傳感器數(shù)量越多，對(duì)傳感器質(zhì)量要求也愈高。

MEMS傳感器可以提升汽車(chē)安全性、靈敏度并降低成本，其核心應(yīng)用包括車(chē)輛的防抱死系統(tǒng)、車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng)、電控懸掛、電動(dòng)剎車(chē)、胎壓監(jiān)控、引擎防抖、車(chē)輛傾角計(jì)量等等。

依據(jù)傳感器所處的控制系統(tǒng)，MEMS傳感器可分為發(fā)動(dòng)機(jī)控制傳感器、底盤(pán)控制傳感器、車(chē)身控制傳感器及電氣設(shè)備傳感器四類(lèi)；依傳感器的測(cè)量原理，MEMS傳感器可分為力學(xué)量傳感器、磁學(xué)量傳感器、熱學(xué)量傳感器、化學(xué)量傳感器與微生物傳感器五類(lèi)。下面為大家介紹三種最重要的傳感器

1.MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用于對(duì)汽車(chē)氣缸負(fù)壓、吸氣壓，渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的升壓比、油壓等進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)氣缸壓力是優(yōu)化汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)性能的基礎(chǔ)，因氣缸內(nèi)溫度偏高，傳統(tǒng)多利用壓電傳感器或是光纖傳感器進(jìn)行測(cè)量，其檢測(cè)效果雖好，但成本偏高。當(dāng)前諧振式硅壓力傳感器已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，其可于高溫環(huán)境下工作，且能保持較高測(cè)試精度，現(xiàn)已應(yīng)用于測(cè)量汽車(chē)氣缸壓力。

MEMS壓力傳感器還可應(yīng)用于監(jiān)測(cè)汽車(chē)輪胎壓力，部分汽車(chē)輪胎制造商已在輪胎當(dāng)中埋置了利用MEMS技術(shù)所制造的微型壓力傳感器，以免輪胎充氣不足或過(guò)量。

2、MEMS加速度傳感器

加速度傳感器被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)安全氣囊，汽車(chē)發(fā)生碰撞時(shí)及時(shí)將安全氣囊打開(kāi)。因此這種傳感器的靈敏度直接影響駕駛員安全。此外MEMS傳感器可用于對(duì)汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的振動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行測(cè)量，以點(diǎn)火提前角控制進(jìn)行調(diào)整，以免發(fā)動(dòng)機(jī)爆震。另還有安裝于半主動(dòng)懸掛系統(tǒng)減壓器的傳感器，其可保證汽車(chē)于調(diào)整置身和行駛于不平路面時(shí)的駕駛性能。

3、MEMS角速度傳感器（陀螺儀）

角速度傳感器（陀螺儀）主要應(yīng)用于控制車(chē)輛姿態(tài)、發(fā)出翻車(chē)報(bào)警與汽車(chē)導(dǎo)航當(dāng)中，其中汽車(chē)導(dǎo)航需利用到角速度傳感器與車(chē)輪轉(zhuǎn)速傳感器，且要將其與汽車(chē)電子系統(tǒng)中的電子地圖與GPS相互結(jié)合。當(dāng)前表面微機(jī)械陀螺儀與音叉式陀螺儀已實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)，很多高級(jí)轎車(chē)當(dāng)中均會(huì)安裝此類(lèi)傳感器。

據(jù)悉，新能源汽車(chē)中，MEMS傳感器的應(yīng)用也有所增加，理想L9整車(chē)超25個(gè)視覺(jué)傳感器，長(zhǎng)安深藍(lán)SL03可選裝到27個(gè)傳感器，小鵬P7或?qū)⑴渲?1個(gè)傳感器，前不久上市的亞迪海豹也有15個(gè)傳感器，華為發(fā)布的阿爾法s的傳感器則高達(dá)34個(gè)。

可以預(yù)見(jiàn)，MEMS傳感器在汽車(chē)領(lǐng)域?qū)⒗^續(xù)保持高速增長(zhǎng)。作為全球知名的自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備服務(wù)商，SPEA熟知各類(lèi)傳感器性能參數(shù)和MEMS測(cè)試要求SPEA將繼續(xù)以更高效的測(cè)試設(shè)備來(lái)提升級(jí)MEMS器件的性能與穩(wěn)定性。

審核編輯：湯梓紅