BAW諧振器基礎(chǔ)

如何去分析BAW諧振器？？

一定要掌握 BAW 的這些參數(shù)

前幾天看到一個(gè)朋友所在的公司已經(jīng)獲得了超過一億的融資，對(duì)于很多數(shù)字芯片來(lái)說，一個(gè)億可能燒不了多長(zhǎng)時(shí)間，但是對(duì)于芯片濾波器這個(gè)門類來(lái)說，一個(gè)億可以支撐公司能夠開發(fā)更多的產(chǎn)品。芯片濾波器這個(gè)行業(yè)，未來(lái)依然光明。

接著學(xué)習(xí)！

在文章開始之前呢？大家一起回顧一下 BAW 諧振器

① BAW諧振器的基本結(jié)構(gòu) ：FBAR， BAW-SMR 等 ② BAW諧振器的常用分析模型：BVD/ mBVD, Mosen, FEM 等 ③ BAW 諧振器的關(guān)鍵參數(shù)：諧振頻率 fs/ fp，品質(zhì)因數(shù) Q0， 有效機(jī)電耦合系數(shù) Keff 等。

通過之前文章的學(xué)習(xí)，相信同學(xué)們對(duì)體聲波BAW諧振器有了初步的認(rèn)識(shí)。聲波諧振器不同于我們之前所設(shè)計(jì)的射頻/微波諧振器，它里面諧振著的不是電磁波，而是聲波（機(jī)械波）。電磁波是純粹的橫波，聲波卻不是，除了橫波還有縱波，剪切波。所以對(duì)聲波的分析更為復(fù)雜一些，聲波的變化會(huì)引起能量的損耗，在BAW諧振器里面，縱波是我們所需要的工作模式，所以橫波和剪切波都會(huì)引入損耗。

機(jī)械波示意圖

但是射頻電路里面，如何將電磁波和聲波聯(lián)系起來(lái)呢？這個(gè)要感謝神奇的壓電材料，我們通過壓電材料的壓電效應(yīng)/逆壓電效應(yīng)把電磁波和聲波聯(lián)系了起來(lái)。電磁波的電壓變化通過壓電效應(yīng)引起壓電材料的機(jī)械變化，壓電材料的機(jī)械變化通過逆壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)化為電磁波的電壓變化。這樣，BAW諧振器中的聲波振蕩就和我們的電磁波聯(lián)系起來(lái)了。

編輯：黃飛