探針卡(Probe card)或許很多人沒有聽過，但看過金譽半導體關于CP(Circuit Probing、Chip Probing)測試，也就是晶圓測試方面文章的人應該不會陌生，其中就有提到過探針卡。晶圓測試過程非常重要，而它之所以可較早篩選不良產品，避免不良die流到封裝過程中，探針卡功不可沒。

探針卡是由探針(probe pin)、電子元件(component)、線材(wire)與印刷電路板(PCB)組成的一種測試接口，根據不同的情況，還會有電子元件、補強板(Stiffener)等的需求，主要對裸芯進行測試，即wafer level測試。

晶圓測試時，被測對象安置于探針臺之上，然后用探針卡上的探針與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出測試機(Atomic Test Equipment, ATE)產生的芯片訊號施加于被測器件之上，并將被測器件中的反饋信號傳輸回ATE，從而完成整個測試。測出、篩選出不良晶圓后，再進行封裝工程，這一步驟相當大的影響著芯片制造成本。

探針卡類型

1、U-Probe

U-Probe是指適用于存儲設備測量的探針卡(probe card)。U-Probe的探針面積等于晶圓尺寸，因此探針可以放置在晶圓上的任何位置。用于DRAM的U-Probe具有新月形的DUT布局，可以最有效地利用空間，從而充分利用測試儀的資源。

DUT布局減少了測試晶圓片所需的接觸次數，并實現了整個晶圓的均勻以實現最佳接觸，從而顯著提高了測試良率。不僅如此，它還允許使用MEMS探針“微懸臂”和薄膜多層技術進行晶圓級探測。

2、 垂直探針卡

Vertical-Probe是指適合常規邏輯產品(包括SoC和微計算機產品)的多管芯測試的探針卡。

它被稱為“垂直型”探針卡，因為探針針垂直于基材。由于其短針狀結構且與設備垂直接觸，因此垂直類型最適合于測量小焊盤，高頻設備。

3 、微機電系統探針卡

MEMS-SP是指用于邏輯器件的探針卡(probe card)，適用于微處理器和SoC器件的倒裝芯片以及細間距凸點晶圓測試。

得益于垂直彈簧針型探針和MEMS技術制造，MEMS-SP可以進行幾乎沒有變化的高精度和可靠測試。

此外，其結構允許更換單針，從而減少了維護時間。

4、 SP探針卡

SP-Probe是指垂直彈簧針型探針卡(probe card)。用于NAND閃存的SP-Probe適用于12英寸晶圓的一觸式測試。其高針壓規格通過與氧化膜下的墊片接觸來幫助實現穩定的接觸，還允許更換單針以方便維護。

垂直彈簧針型探針卡

5 、WLCSP晶圓級封裝芯片測試探針卡

晶圓級芯片級封裝(WLCSP)的探針卡適用于測試區域陣列設備。探針的尖端有皇冠型和扁平型規格，您可以根據測試環境選擇一種。

適用于WLCSP的探針卡

隨著芯片制程越來越小，晶圓代工工藝越來越先進，測試技術也不斷提高。探針作為測試階段的耗材，對其精密度、產量、壽命、一致性的也要求越來越高了。

審核編輯：湯梓紅