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電子發燒友網報道（文/莫婷婷）近日，無錫卓海科技股份有限公司（以下簡稱“卓海科技”）擬在深交所創業板上市進入問詢階段。此次上市擬募資5.4734億元，用于半導體前道量檢測設備擴產項目、研發中心建設項目、補充流動資金。

圖：卓海科技募資情況卓海科技是國內半導體前道量檢測設備供應商，主要通過對退役設備的精準修復和產線適配來實現其再利用價值，為客戶提供前道量檢測修復設備，此外，卓海科技也致力于前道量檢測設備（如應力測量設備、四探針電阻測試儀等）及其關鍵配件（如激光器等）的自主研發。

2021年營收超億元，凈利潤三年翻6倍

在芯片制造過程中，前道量檢測設備是提高芯片產率、良率，降低生產成本的核心設備，其市場規模僅次于薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕設備。據SEMI 數據顯示，前道量檢測設備在半導體設備市場中占據13%的市場份額。隨著智能汽車的智能駕駛等級不斷提升，消費電子、智能工業，對于芯片的要求也是不斷提升，成熟制程的需求將持續增長，這也推動了應用于成熟制程的前道量檢測設備的需求。目前，中國大陸已成為全球最大的前道量檢測設備市場，但KLA、AMAT、Hitachi國際龍頭企業占據超過75%，前道量檢測設備的國產化率僅為2%，國產企業有著廣闊的發展空間。招股書顯示，卓海科技已經建立并完善了包括故障設備精準修復、多尺寸晶圓量檢測傳輸、多材質晶圓量檢測定位技術在內的修復技術體系，實現了從 250nm 制程到 32nm 制程（多尺寸、多材質）修復工藝平臺的持續升級。在前道量檢測設備及其關鍵配件的自主研發方面，公司形成了固態激光設計技術、激光自校準穩定技術、高穩定性傳動控制技術等核心技術。主要客戶有士蘭微、華虹半導體、華潤微等。在營收方面，卓海科技在報告期內的業績翻倍增長。2019年、2020年、2021年，營業收入分別為4093萬元、7455萬元、1.95億元，年復合增長率為118.31%，近三年增長近5倍；凈利潤分別為1332萬元、2808萬元、7611萬元，年復合增長率為139.04%，近三年增長近6倍。

圖：卓海科技營收情況在主營業務方面，前道量檢測修復設備是主要的收入來源，報告期內的營收占比均達到90%以上。其中前道量檢測修復設備包括測量修復設備、檢測修復設備兩大類，后續不斷拓展修復設備品類。整體來看，卓海科技主營業務收入呈快速增長趨勢，2020 年度、2021 年度分別同比增長 82.48%、161.67%，年復合增長率達到 118.51%。對于主營業務的增長，卓海科技在招股書中提到了三大原因，一是市場需求的推動，二是公司有著豐富的技術積累，三是公司有著優質的客戶。

圖：卓海科技主營業務占比情況在客戶方面，卓海科技的客戶包括客戶A、客戶B、士蘭微、客戶C、華虹半導體、華潤微等，這些國內半導體代工龍頭企業將為卓海科技快速成長的市場基礎。不過，在報告期內，前五大客戶的銷售占比分別為 84.41%、85.86%及66.78%，占比相對較高。卓海科技也意識到客戶過于集中帶來的風向，在招股書中提到，“如果公司主要客戶因生產經營或財務狀況發生重大不利變化而減少對公司產品的需求，或公司未能持續拓展新客戶，將對公司的生產經營和業績產生不利影響。”

起步晚，研發投入低于同行

與國際企業相比，國內半導體設備企業起步較晚，細分到前道量檢測設備也是如此。從招股書中可以看到，卓海科技在研發投入和研發人才占比方面仍有不足。報告期內，在研發人員方面，核心技術人員只有3人，研發人員總數為74人，占員工總數的比例僅為17.57%，不到20%。在研項目有兩項，分別為“晶圓薄膜應力測量設備的研究”、“晶圓缺陷測量儀用固態激光的研究”，處于樣品測試階段。在研發投入方面，卓海科技的研發投入逐年下降。如果將其研發費用率與同行業可比公司對比，也能看出明顯的差距。2019年、2020年、2021年的研發投入分別為7.38%、6.245%、5.36%。同期，同行業可比公司的研發費用率平均值為46.55%、19.20%、16.28%。由此來看，業內的研發費用率都呈現下降的趨勢，但是卓海科技的研發投入明顯過低。