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      一文詳解離子束工藝技術

      半導體之芯 ? 來源：半導體之芯 ? 作者：半導體之芯 ? 2022-11-22 10:44 ? 次閱讀

      二次離子質譜（SIMS）是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束（通常是氧氣或（無機樣品用銫離子）“濺射”樣品表面上選定區域的材料。

      噴射出的“二次離子”通過質量。分光計，它將離子按照它們的質量/電荷比，實際上提供了化學物質分析一個很小的取樣量。

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      編輯：黃飛


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      原文標題：聚焦離子束工藝技術詳解(178頁PPT）

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        發表于 09-04 16:33

        聚焦離子束顯微鏡(FIB-SEM)

        等。 金鑒實驗室FIB-SEM技術參數：聚焦離子束技術（FIB）注意事項：（1）樣品大小5×5×1cm，當樣品過大需切割取樣。（2）樣品需導電，不導電樣品必須能噴金增加導電性。（3）切割深度必須小于
        發表于 01-16 22:02

        聚焦離子束應用介紹

        進行元素組成分析。1.引言 隨著納米科技的發展，納米尺度制造業發展迅速，而納米加工就是納米制造業的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用高強度聚焦
        發表于 02-05 15:13

        離子束加工原理

        離子束加工原理和離子束加工的應用范圍，離子束加工的特點。
        發表于 05-22 12:48 ?1.8w次閱讀
        <b class='flag-5'>離子束</b>加工原理

        離子束注入技術應用

        離子束注入技術概述 基本原理：離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中，這一現象就叫做離子注入。
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        一文看懂電子束與離子束加工工藝

        電子束加工和離子束加工是近年來得到較大發展的新型特種加工。他們在精密微細加工方面，尤其是在微電子學領域中得到較多的應用。通常來說，電子束加工主要用于打孔、焊接等熱加工和電子束光刻化學加
        發表于 03-17 20:10 ?15次下載
        <b class='flag-5'>一</b><b class='flag-5'>文</b>看懂電子<b class='flag-5'>束</b>與<b class='flag-5'>離子束</b>加工<b class='flag-5'>工藝</b>

        關于聚焦離子束技術的簡介與淺析

        聚焦離子束技術（Focused Ion beam，FIB）是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實現材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發展，納米尺度
        的頭像 發表于 04-03 13:51 ?3449次閱讀

        聚焦離子束技術介紹

        1、聚焦離子束技術（FIB） 聚焦離子束技術（Focused Ion beam，FIB）是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的
        的頭像 發表于 01-16 17:10 ?2501次閱讀

        聚焦離子束一電子束(FIB-SEM)雙束系統原理

        納米科技是當前科學研究的前沿領域，納米測量學和納米加工技術在其中扮演著至關重要的角色。電子束和離子束等工藝是實現納米尺度加工的關鍵手段。特別是聚焦離
        的頭像 發表于 11-14 23:24 ?384次閱讀
        聚焦<b class='flag-5'>離子束</b><b class='flag-5'>一</b>電子<b class='flag-5'>束</b>(FIB-SEM)雙<b class='flag-5'>束</b>系統原理

        離子束技術在多領域的應用探索

        聚焦離子束技術（FIB）聚焦離子束技術（FocusedIonBeam，FIB）是一種高精度的微納加工手段，它通過加速并聚焦液態金屬
        的頭像 發表于 12-04 12:37 ?342次閱讀
        <b class='flag-5'>離子束</b><b class='flag-5'>技術</b>在多領域的應用探索

        聚焦離子束技術的歷史發展

        聚焦離子束（FIB）技術的演變與應用聚焦離子束（FIB）技術已經成為現代科技領域中不可或缺的一部分，尤其是在半導體制造和微納加工領域。盡管F
        的頭像 發表于 12-05 15:32 ?252次閱讀
        聚焦<b class='flag-5'>離子束</b><b class='flag-5'>技術</b>的歷史發展

        聚焦離子束系統的結構、工作原理及聚焦離子束雙束系統

        尺度的測量與制造納米技術，作為全球科研的熱點，關鍵在于其能夠在納米級別進行精確的測量和制造。納米測量技術負責收集和處理數據，而納米加工技術則是實現微觀制造目標的核心工具。電子束和
        的頭像 發表于 12-17 15:08 ?549次閱讀
        聚焦<b class='flag-5'>離子束</b>系統的結構、工作原理及聚焦<b class='flag-5'>離子束</b>雙<b class='flag-5'>束</b>系統

        一文帶你了解聚焦離子束（FIB）

        聚焦離子束（FIB）技術是一種高精度的納米加工和分析工具，廣泛應用于微電子、材料科學和生物醫學等領域。FIB通過將高能離子束聚焦到樣品表面，實現對材料的精確加工和分析。目前，使用Ga（
        的頭像 發表于 01-14 12:04 ?180次閱讀
        <b class='flag-5'>一</b><b class='flag-5'>文</b>帶你了解聚焦<b class='flag-5'>離子束</b>（FIB）
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