來源：《半導體芯科技》雜志10/11期

在2022年硅量子電子研討會上，英特爾實驗室宣布以現有硅基半導體技術成功生產自旋量子計算芯片，這為未來量產量子計算機打下基礎。英特爾表示，最新研究結果是目前業界最大的硅基自旋量子運算芯片，量產芯片切出裸晶表現高度均勻性，芯片良率超過95%。這一成就代表了英特爾在晶體管制造工藝上擴大規模和努力制造量子芯片的一個重要里程碑。

英特爾的研究使用極紫外（EUV）光刻技術制造，并使用專門設計的量子低溫探測器Cryoprober對最新硅自旋量子運算芯片進行了測試，該設備在極低的溫度（1.7開爾文或-271.45攝氏度）下運行，以保持量子比特的穩定性，從而使其可用于計算目的。測試確認自旋量子運算芯片運行穩定性。Cryoprober也證實300毫米晶圓上95%的量子位封裝芯片按預期工作。這對英特爾來說尤其是好消息，因為到目前為止，大多數量子芯片生產努力一次只能制造一個。英特爾的EUV工藝現在似乎能夠在晶圓上制造多個量子芯片，且具有出色的均勻性和良率。

英特爾的量子計算芯片制造技術，是允許單電子狀態跨芯片自動收集數據，以完成迄今最大單量子點和雙量子點，也就是超過900個單量子點和超過400個雙量子點。

英特爾量子硬件總監James Clarke表示，這代表未來能朝商業量子計算機數千或數百萬個量子比特方向邁出重要一步。完成高產量和均勻統一性，也代表英特爾晶體管制程制造量子芯片可行，且隨著技術成熟將實現商品化，幫助量子運算發展。

審核編輯黃昊宇