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高性能、可量產(chǎn)的確定性接觸電阻式編織結(jié)構(gòu)大應(yīng)變傳感器

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 2023-01-09 15:36 ? 次閱讀

近年來(lái),各種智能可穿戴設(shè)備被廣泛應(yīng)用于人機(jī)交互、運(yùn)動(dòng)監(jiān)測(cè)和醫(yī)療健康等領(lǐng)域,其中大應(yīng)變傳感器是監(jiān)測(cè)變形的關(guān)鍵元器件,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)人體運(yùn)動(dòng)信號(hào)的全范圍監(jiān)測(cè),包括呼吸、脈搏、肌肉運(yùn)動(dòng)以及各關(guān)節(jié)處的運(yùn)動(dòng)。然而傳統(tǒng)應(yīng)變片的測(cè)量范圍一般在5%以內(nèi),不能滿足目前的需求。用于智能穿戴設(shè)備中的大應(yīng)變傳感器應(yīng)具備以下幾種基本特征:(1)測(cè)量范圍廣。為了監(jiān)測(cè)人體關(guān)節(jié)處的大變形,應(yīng)變傳感器的傳感范圍一般需達(dá)50%。(2)適當(dāng)大的靈敏度。這有利于測(cè)量微小變形,避免較大的測(cè)量誤差。(3)高重復(fù)性。這是應(yīng)變傳感器對(duì)循環(huán)拉伸變形做出準(zhǔn)確響應(yīng)的關(guān)鍵。(4)魯棒性。包括可水洗性、耐磨性、對(duì)微缺陷不敏感以及能承受極端載荷的能力。(5)低造價(jià)和可連續(xù)生產(chǎn)的能力。(6)在特殊應(yīng)用場(chǎng)景下的其他重要性能,如高線性度、快速響應(yīng)時(shí)間、低松弛和溫度不敏感等。經(jīng)過(guò)科研人員的不懈努力,大量的大應(yīng)變傳感器應(yīng)運(yùn)而生。

目前廣泛研究的大應(yīng)變傳感器主要包括以下三種:(a)裂紋基應(yīng)變傳感器。這種傳感器通常具有較大的靈敏度和測(cè)量范圍,但是由于裂紋的隨機(jī)性和裂紋間接觸關(guān)系的不穩(wěn)定性導(dǎo)致重復(fù)性不理想。(b)織物類(lèi)應(yīng)變傳感器。這種傳感器相對(duì)于裂紋基應(yīng)變傳感器具有較為穩(wěn)定的接觸關(guān)系,但是織物間相互約束較弱、容易滑移和松弛,從而影響信號(hào)的穩(wěn)定性。(c)無(wú)接觸電阻式應(yīng)變傳感器。此前研究者提出的無(wú)接觸電阻式應(yīng)變傳感器具有良好的線性度和重復(fù)性,但是其靈敏度較低(約0.005)。因此,研制一種測(cè)量范圍廣、靈敏度適當(dāng)高、重復(fù)性高、能連續(xù)生產(chǎn)的大應(yīng)變傳感器具有重要意義和挑戰(zhàn)性。

近日,中科院力學(xué)所蘇業(yè)旺研究員團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)并制備了一種高性能、可量產(chǎn)的確定性接觸電阻式編織結(jié)構(gòu)大應(yīng)變傳感器(如圖1)。在這一編織結(jié)構(gòu)中,滌綸纖維將銀纖維與乳膠絲基底緊緊捆綁到一起形成“Y”形結(jié)構(gòu),這避免了拉伸過(guò)程中纖維間的滑移從而使得應(yīng)變傳感器具有較高的重復(fù)性(重復(fù)性誤差3.74%)。得益于這種特殊的編織結(jié)構(gòu),該應(yīng)變傳感器具有適當(dāng)高的靈敏度(靈敏系數(shù)可達(dá)140)和較大的測(cè)量范圍(50%)。此外,為了更深入地研究該應(yīng)變傳感器的傳感機(jī)理,還建立了相關(guān)的力-電耦合模型,所得理論結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果一致(如圖2)。該編織結(jié)構(gòu)應(yīng)變傳感器還具有高魯棒性、響應(yīng)時(shí)間快(128ms)及對(duì)溫度不敏感等性能(圖3)。如圖4所示,該應(yīng)變傳感器可應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)姿態(tài)的監(jiān)測(cè)與矯正、醫(yī)療康復(fù)以及人機(jī)交互等領(lǐng)域。同時(shí),這種編織結(jié)構(gòu)應(yīng)變傳感器具有低成本、可連續(xù)化生產(chǎn)的特點(diǎn),這對(duì)實(shí)現(xiàn)真正的“落地化”生產(chǎn)與應(yīng)用具有重要意義。

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圖1 編織結(jié)構(gòu)應(yīng)變傳感器制備過(guò)程及照片。(a)傳感器制備過(guò)程,(b)傳感器宏觀與微觀照片,(c)傳感器的拉伸、彎折和扭轉(zhuǎn)。

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圖2 傳感器的傳感性能與機(jī)理。(a)應(yīng)變傳感器相對(duì)電阻變化與施加應(yīng)變關(guān)系的實(shí)驗(yàn)與理論結(jié)果對(duì)比,(b)應(yīng)變傳感器在50%應(yīng)變作用下進(jìn)行40000次循環(huán)測(cè)試,(c)40000次循環(huán)加載前后各5次實(shí)驗(yàn)結(jié)果,(d)不同施加應(yīng)變作用下應(yīng)變傳感器微觀結(jié)構(gòu)的SEM圖,(e)傳感器的電、力模型示意圖。

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圖3 應(yīng)變傳感器的動(dòng)態(tài)性能及魯棒性。(a)傳感器對(duì)小應(yīng)變的響應(yīng),(b)應(yīng)變傳感器的響應(yīng)/恢復(fù)時(shí)間,(c)加載速度對(duì)傳感器信號(hào)響應(yīng)的影響,(d)溫度對(duì)傳感器信號(hào)的影響,(e)扭轉(zhuǎn)對(duì)傳感器的影響,(f)水洗對(duì)傳感器的影響,-(g)微缺陷對(duì)傳感器信號(hào)的影響,(h)具有1-mm微缺陷的傳感器在50%應(yīng)變下的2000次循環(huán)加卸載。

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圖4 編織應(yīng)變傳感器的代表性應(yīng)用。(a)傳感器與健身衣的集成,(b)正確與錯(cuò)誤健身姿態(tài)下傳感器的響應(yīng),(c)傳感器對(duì)脈搏信號(hào)的測(cè)量,(d)傳感器對(duì)頸部康復(fù)運(yùn)動(dòng)的監(jiān)測(cè),(e)傳感器對(duì)膝關(guān)節(jié)康復(fù)運(yùn)動(dòng)的監(jiān)測(cè),(f)由該傳感器制備的智能手套對(duì)機(jī)械手掌的遠(yuǎn)程控制。

該研究成果以“Stretchable Strain Sensors based on Deterministic-Contact-Resistance Braided Structures with High Performance and Capability of Continuous Production”為題發(fā)表于學(xué)術(shù)期刊《Advanced Functional Materials》。論文第一作者為中科院力學(xué)所博士生李居曜,通訊作者為中科院力學(xué)所蘇業(yè)旺研究員。參與該工作的還有本課題組已畢業(yè)的李爽博士。該工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金委、中國(guó)科學(xué)院從0到1原始創(chuàng)新計(jì)劃、中國(guó)科學(xué)院交叉學(xué)科創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)和中組部WRQB人才計(jì)劃等項(xiàng)目的支持。

論文信息
DOI: 10.1002/adfm.202208216

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:高性能、可量產(chǎn)的確定性接觸電阻式編織結(jié)構(gòu)大應(yīng)變傳感器

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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