巨量轉(zhuǎn)移關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化被重新“”定義”！

高性能的Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備，單機(jī)價(jià)格昂貴，技術(shù)含量超高，往往是Micro LED下游廠商眾多設(shè)備里最為“金貴”的那一臺(tái)。

作為近三年來(lái)，發(fā)展最為迅猛的顯示技術(shù)之一，制約Micro LED發(fā)展最為關(guān)鍵的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備一直以來(lái)普遍依賴進(jìn)口。

此前，國(guó)內(nèi)Micro LED應(yīng)用龍頭廠商利亞德就曾透露，目前公司巨轉(zhuǎn)設(shè)備均采自國(guó)外。

現(xiàn)在，這種情況正在開(kāi)始得到改變。

2022年8月以來(lái)，已經(jīng)有多家國(guó)內(nèi)激光設(shè)備廠商透露其Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，交付客戶。

“巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)是Micro LED產(chǎn)業(yè)化必須解決的問(wèn)題，也是降低成本的關(guān)鍵。”有業(yè)界資深人士告訴高工LED，巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備國(guó)產(chǎn)化能夠大大加速M(fèi)icro LED應(yīng)用的落地和成本的降低，為打開(kāi)更多應(yīng)用場(chǎng)景奠定了基礎(chǔ)。

因此，任何有望實(shí)現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的企業(yè)都會(huì)成為學(xué)術(shù)界、業(yè)界和資本方關(guān)注的焦點(diǎn)。

1

巨量轉(zhuǎn)移“攔路虎”

一直以來(lái)，巨量轉(zhuǎn)移和紅光效率低下是制約Micro LED發(fā)展的兩大關(guān)鍵“攔路虎”。

其中巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)和設(shè)備難題尤為凸顯。

兆馳光元顯示事業(yè)部總經(jīng)理劉傳標(biāo)就曾表示，“巨量轉(zhuǎn)移及相關(guān)的芯片一致性、良率、返修......”等因素，是影響Micro LED研發(fā)和量產(chǎn)進(jìn)程的主要原因。

巨量轉(zhuǎn)移的難點(diǎn)在于，如何提升轉(zhuǎn)移良率到99.9999%(俗稱的”六個(gè)九”)，且每顆芯片的精準(zhǔn)度必須控制在正負(fù)0.5μm以內(nèi)。

此外，現(xiàn)在針對(duì)Micro LED生態(tài)體系的設(shè)備和關(guān)鍵材料少的可憐，這需要產(chǎn)業(yè)鏈廠商對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品做出持續(xù)優(yōu)化或推陳出新，發(fā)現(xiàn)Micro LED生態(tài)特性，定制專屬設(shè)備和材料。起碼要在大規(guī)模商用之前，能夠補(bǔ)足符合Micro LED需要的產(chǎn)業(yè)鏈配套缺失。

高工LED在近兩年的巡回調(diào)研中了解到，目前產(chǎn)業(yè)鏈的包括設(shè)備等關(guān)鍵配套缺失已經(jīng)成為廠商們發(fā)展Micro LED最為擔(dān)憂的心腹大患。

“從芯片到最終的顯示產(chǎn)品，Micro LED量產(chǎn)過(guò)程中面臨著諸多的困難和挑戰(zhàn)。”利亞德集團(tuán)透明顯示事業(yè)部總經(jīng)理、利亞德智慧顯示總經(jīng)理汪生和此前表示，在這其中最主要的就牽扯到巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)、驅(qū)動(dòng)IC技術(shù)和產(chǎn)品集成（即成品良率）。

因此，盡管Micro LED顯示在亮度、分辨率、對(duì)比度上均顯著優(yōu)于 OLED 和LCD。被業(yè)界譽(yù)為“終極”顯示技術(shù)。但數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的Micro LED芯片尺寸小至幾微米，使用傳統(tǒng)的機(jī)械抓手和真空噴嘴的抓取和放置技術(shù)來(lái)操控微器件變得越來(lái)越困難。

目前全球各地的技術(shù)團(tuán)隊(duì)各顯神通，提出了眾多的解決方案，目前業(yè)界研發(fā)的方向主要有靜電力與磁力吸附、流體裝配與定位、激光轉(zhuǎn)移（Laser Release）、自組裝技術(shù)（Self Assembly）、轉(zhuǎn)印技術(shù)（Roll Printing）等。

在靜電吸附、流體自組裝、彈性印模等多種巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)路線中，激光巨量轉(zhuǎn)移響應(yīng)快速，轉(zhuǎn)移效率極高，同時(shí)具有高度可選擇性。高工產(chǎn)研LED研究所（GGII）認(rèn)為，預(yù)計(jì)未來(lái)激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)將成為 LED 芯片巨量轉(zhuǎn)移的主流技術(shù)。

國(guó)內(nèi)的多家激光設(shè)備龍頭大廠近幾年來(lái)也紛紛投入重金意圖攻克激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)難題。

2

國(guó)產(chǎn)化“曙光”初現(xiàn)

“從小間到微間的躍遷，是個(gè)障礙賽。Mini/Micro LED在技術(shù)、工藝、設(shè)備等方面尚不完善，也說(shuō)明空間很大，在一定程度上國(guó)產(chǎn)和國(guó)外已經(jīng)保持著同步，甚至國(guó)產(chǎn)應(yīng)用更加超前。”高工LED董事長(zhǎng)張小飛博士認(rèn)為，Mini/Micro LED的應(yīng)用大趨勢(shì)已經(jīng)不可阻擋。

這種熱度也已經(jīng)傳導(dǎo)至整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈。要滿足市場(chǎng)的高增長(zhǎng)，Micro LED企業(yè)需要快速建立產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能爬坡，同時(shí)進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率并降低成本。

要實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，Micro LED設(shè)備的性能提升和供應(yīng)擴(kuò)張就顯得尤為重要。

“Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備系公司自主研發(fā)，現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)銷售。”大族激光此前在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司各業(yè)務(wù)板塊情況良好，將努力提升經(jīng)營(yíng)管理水平和盈利能力。

先導(dǎo)智能和海目星激光也都在其官微宣布自主研發(fā)的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨。

2022年8月15日，先導(dǎo)智能表示，公司自主研發(fā)的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，進(jìn)入工藝驗(yàn)證階段，成為國(guó)內(nèi)僅有幾臺(tái)實(shí)現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移的先進(jìn)設(shè)備之一。

據(jù)高工LED了解，先導(dǎo)激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備在轉(zhuǎn)移良率、可靠性等諸多方面具有獨(dú)到優(yōu)勢(shì)。據(jù)驗(yàn)證，該設(shè)備巨量轉(zhuǎn)移良率可達(dá)99.99%，轉(zhuǎn)移精度達(dá)到±1um以內(nèi)。設(shè)備本身基于先導(dǎo)家族式語(yǔ)言設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)合理，操作性強(qiáng)，結(jié)合模塊化設(shè)計(jì)，能夠替換不同結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)功能升級(jí)，并且采用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)完成晶粒的全自動(dòng)化轉(zhuǎn)移作業(yè)，提升轉(zhuǎn)移效率。應(yīng)對(duì)不同產(chǎn)品，先導(dǎo)激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備可同時(shí)兼容2寸、4寸、6寸晶圓及多種承接/驅(qū)動(dòng)基板。

2022年9月26日，海目星激光也宣布海目星首批Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，交予客戶。

這意味著海目星已成功掌握Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)，在新型顯示領(lǐng)域取得重要突破。

據(jù)介紹，海目星自2020年起開(kāi)始對(duì)激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)進(jìn)行布局，從而探索如何逐步解決轉(zhuǎn)移芯片數(shù)量巨大、轉(zhuǎn)移工藝良率和精度要求嚴(yán)苛、容錯(cuò)率過(guò)低等問(wèn)題。

海目星MicroLED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備不僅能達(dá)到≤ 50μm Micro LED應(yīng)用要求，同時(shí)還具備準(zhǔn)分子光源和投影系統(tǒng)、高精度自動(dòng)對(duì)位和全段設(shè)備兼容設(shè)計(jì)等特點(diǎn)。

海目星方面表示，海目星巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備已擁有在有效控制成本的前提下規(guī)模化生產(chǎn)的可行性，未來(lái)將逐步布局設(shè)備量產(chǎn)。

GGII報(bào)告顯示，2022年，設(shè)備是Mini/Micro LED產(chǎn)業(yè)鏈增長(zhǎng)最為快速的環(huán)節(jié)，封裝、應(yīng)用端對(duì)設(shè)備的規(guī)模化需求將得以快速釋放。

審核編輯 ：李倩