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喜報！昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模***獨家代理。

上海昊量光電設備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無掩光刻系統的中國區獨家代理商，此次獲得Microlight3D的授權，體現了Microlight3D對上海昊量光電設備有限公司市場銷售的專業度及售后技術支持力量的高度認可。我們將一如既往的為國內廣大用戶提供更為優質的服務。

Microlight3D成立于2016年，在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(Université Grenoble Alpes，UGA）進行了長達15年的3D微型打印技術研發。格勒諾布爾阿爾卑斯大學創建于1339年，是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學，是歐洲最古老的大學之一，教學科研實力處于法國頂尖、世界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學，格勒諾布爾-阿爾卑斯大學先后誕生過3位諾貝爾獎獲得者（克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯），1位圖靈獎獲得者（約瑟夫·斯發基斯）。

Microlight3D公司一直在快速發展，得益于Smart Print UV System在世界各地的實驗室和公立私立研究中心的大量銷售。

Microlight3D公司推出的DMD無掩模光刻系統Smart Print UV系列，是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備，可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產生任何2D形狀，而不需要硬掩模。

Smart PrintUV系統特點:

? 最小特征尺寸1.5um

? 可更換目標的可調節寫入區域和分辨率

? 兼容CAD文件及bitmap文件

? 兼容SU-8、g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠

? 兼容多種基材（硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等）

? 兼容多種樣品尺寸：2''和4''晶圓、4''和5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm和25mm圓形載玻片

? 反饋相機：聚焦，對齊，準直

? 手動旋轉臺：360°可旋轉，精度 0.1°

?桌面型，占地空間小

?曝光速度相比同類型產品更快！

?極具性價比！

?軟件操作和設備維護簡單！

?交貨周期短！

?可免費打樣！

Smart PrintUV功能選件：

?1X Objective 磁吸快速更換鏡頭

10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 μm resolution

?5X Objective 磁吸快速更換鏡頭

2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 μm resolution

?10X Objective 磁吸快速更換鏡頭

1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution

?4" 晶圓樣品支架

?玻璃載玻片樣品支架

?多用途大型樣品支架

兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片,14 mm & 25 mm 圓形載玻片

?定制化樣品支架

根據客戶要求，可適應更大樣品尺寸或多個樣品；兼容柔性膜材基底（New!）

?保修期延期

設備保修期2年，軟件免費升級2年

Smart PrintUV核心規格：

型號	SP-UV.Standard	SP-UV.Advanced
光源	曝光波長：385nm；校準波長：590nm
最小特征尺寸	1.5um
對準準度（1cm2區域）	2um	1um
拼接精度	2um	＜1um
最大曝光范圍	70×70mm2	110×110mm2
基板尺寸	4英寸(wafer)	5英寸（方形）
寫入速度	77mm2/min	220mm2/min
系統尺寸	長×寬×高：52(cm)×52(cm)×69(cm)

軟件包：

電腦	Windows 10Pro, 24inch屏幕
SFTprint軟件	機器控制、步進重復、自動劑量測試、拼接、對齊
SFT轉換器	將標準CAD格式（gdsii、dxf、cif、oas）轉換為機器格式；包含CAD軟件

鏡頭選項：

物鏡	1X	2.5X	5X	10X
寫入區域（mm）	10.56×5.94	4.2×2.4	2.1×1.2	1.06×0.59
最小線寬（um）	15	6	3	1.5

Smart PrintUV應用領域:

Smart Print UV是為需要制作表面微圖案、微結構的任何應用領域的完美設計，如MEMS，微流體，二維材料，自旋電子學，生物技術和微電子等。

Microlight3D公司還有另外一款明星產品-雙光子聚合3D納米***。

2007年，第一代雙光子聚合3D納米***microFAB-3D問世，在中國大陸、臺灣和歐洲地區有大量的銷售。

2018年，公司獲得了法國研究與創新部頒發的公共研究領域最具創新力年輕公司獎。

2019年，推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米***。

2019年，Microlight3D完全收購了無掩模光刻系統制造商SmartForceTechnologies。

未來，上海昊量光電設備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持，昊量光電也將繼續秉承互利共贏的發展理念，充分發揮自身強大的專業技術溝通和服務優勢，力爭為國內MEMS，微流體，二維材料，自旋電子學，生物技術和微電子等應用領域的研究和推廣貢獻一份力量，滿足并不斷超越客戶的期望，致力于為國內前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務，助力中國智造與中國創造。

歡迎繼續關注上海昊量光電的各大媒體平臺，我們將不定期推出各種產品介紹與技術新聞。

更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電

關于昊量光電：

上海昊量光電設備有限公司是光電產品專業代理商，產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、光學元件等，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設備安裝，培訓，硬件開發，軟件開發，系統集成等服務。

審核編輯黃宇

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