相比于傳統垂直腔面發射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL),多結VCSEL具有更高的光輸出功率、更快的響應速度、更高的斜率效率和電光轉換效率等優勢。目前,多結VCSEL已被廣泛應用在光通信、3D人臉識別技術、激光雷達測距等領域;然而隨著器件架構設計的逐步精細復雜化,對器件微觀工作機理的系統分析和精準預測尤為重要。
近日,天津賽米卡爾科技有限公司技術團隊基于TCAD仿真設計平臺,成功開發出了多結VCSEL模型數據庫,并完成了三結和五結VCSEL的實驗對標,該模型展示出了仿真設計精準的預測能力,理論計算的斜率效率分別達到2.83 W/A和4.52 W/A。圖1(a)和圖1(b)分別展示了理論計算獲得的五結VCSEL能帶分布圖和三/五結VCSEL的光輸出功率與電流-電壓(PIV)曲線分布圖。該模型數據庫有助于分析器件內部電流分布、光場分布、受激輻射復合分布等微觀信息,協助優化有源區架構、隧穿結組成、DBR等設計參數,為實現高功率、高響應速度的多結VCSEL器件設計提供可靠的技術分析手段。
圖1.(a)多結VCSEL能帶分布和(b)PIV曲線特性
審核編輯黃宇
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