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芯片在失效分析中的開封方法及注意事項

上海季豐電子 ? 來源:上海季豐電子 ? 2023-03-20 11:44 ? 次閱讀

Decap:即開封,也稱開蓋,開帽,是指將完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來 ,同時保持芯片功能的完整無損,為下一步芯片失效分析實驗做準備,方便觀察或做其他測試。

通過芯片開封,我們可以更為直觀的觀察到芯片內部結構,從而結合OM,X-RAY等設備分析判斷樣品的異常點位和失效的可能原因。

開封方法及注意事項

01 激光開封

主要是利用激光束將樣品IC表面塑封去除,從而露出IC表面及綁定線。優點是開封速度快,操作方便,無危險性。

02 化學開封

選用對塑料材料有高效分解作用的化學試劑,如發煙硝酸和濃硫酸。主要操作方法:將化學試劑滴入樣品IC封裝表面中,待聚合物樹脂被腐蝕成低分子化合物,然后用鑷子夾著樣品,在玻璃皿中以純水為溶液用超聲波清洗機將低分子化合物清洗掉,再放置加熱臺上烘干從而暴露芯片表面。

芯片開封在失效分析中的應用案例分析

根據客戶要求,將測試樣品IC進行開封測試,開封后觀察表面晶圓是否有燒痕、碳化等異常。

測試結果:試驗后,失效樣品與好品對比表面晶圓發現有不同程度的燒點,且由于化學試劑的配比有所不同,有可能造成腐蝕太過火腐蝕不到位置,如上圖所示樣品過于腐蝕造成IC表面銅走線脫落。







審核編輯:劉清

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原文標題:芯片開封在失效分析中的應用案例分析

文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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