電子發燒友網報道（文/劉靜）2022年半導體產業鏈中游的芯片設計企業業績出現較為普遍的下滑，在此背景下上游的半導體設備卻表現“風景這邊獨好”。

根據CINNO Research的統計數據，2022年應用材料、阿斯麥、泛林、Tokyo Electron、科磊、迪恩士、愛德萬測試、ASM國際、日立高新、泰瑞達的半導體設備業務營收進入全球前十榜單，它們營收合計達1030億美元，創造近三年最高營收紀錄，同比增長6.1%。其中，位列全球第一的應用材料，2022年半導體設備營收同比增長7.4%，此外愛德萬測試、ASM國際、日立高新的半導體業務營收也分別同比增長4.6%、21.5%、21.1%。

從國際市場回到中國市場上，受益于強有力的國家戰略支持，密集的資本和人才投入，起步較晚的本土半導體設備上市公司在國產替代的重大機遇下，2022年業績迎來快速增長，增速普遍高于國際半導體設備巨頭。

近日，電子發燒友對已發布2022財報的北方華創、富創精密、富樂德、易天股份、中微公司、廣立微、聯動科技、金海通、芯源微、拓荊科技、華峰測控、華海清科、盛美上海等21家半導體設備上市公司進行整理分析。


16家半導體設備上市公司2022營收和凈利雙增長！整體增速高于全球巨頭

電子發燒友對本土半導體設備21家上市公司的營業收入、凈利潤、增速進行整理如下所示：

在增速這一點上，2022年營收和凈利均實現雙向正增長的半導體設備上市公司達16家，分別為北方華創、中微公司、盛美上海、長川科技、拓荊科技、華海清科、富創精密、芯源微、華峰測控、至純科技、微導納米、芯碁微裝、富樂德、金海通、廣立微、耐科裝備。而2022年營收或凈利出現負增長的半導體設備上市公司是易天股份、光力科技、深科達、聯動科技和晶升股份。

營收增速上，全球前十的半導體設備商目前僅看到ASM國際、日立高新這兩家的半導體業務營收增速在20%以上，而中國的這21家半導體設備上市公司2022年度營收增速在20%以上的高達14家，且有10家實現50%以上的快速增長。由此可見，2022年中國半導體設備上市公司營收增速是顯著高于國際巨頭的。

凈利增速上，中國本土的半導體設備上市公司表現比營收更為良好。21家半導體設備企業中，有一半的企業實現凈利正增長，并且有7家實現翻倍高增長，它們分別為北方華創、盛美上海、長川科技、拓荊科技、華海清科、芯源微、深科達。

其中，表現最為亮眼的是來自科創板的拓荊科技，2022年營收和凈利增速分別高達125.02%、438.09%，成為21家半導體上市公司中業績增速最高的企業。2023年一季度，拓荊科技一樣保持業績高速增長，營收同比增長274.24%，歸母凈利潤同比增長552.25%，創單季度歷史新高，未來可期。

據了解，拓荊科技專注的是薄膜沉積設備的研發和產業化應用，目前主營產品是PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）、ALD（原子層沉積）、SACVD（次常壓化學氣相沉積）及HDPCVD（高密度等離子體增強化學氣相沉積）等。

2022年拓荊科技業績之所以能實現大幅增長，跟報告期內其PECVD系列產品在客戶產線驗證進展順利有很大關系，其ALD系列產品中PE-ALD設備成功實現產業化應用，Thermal-ALD設備也已完成開發并驗證，且SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工藝設備在芯片制造領域也均取得客戶驗證，在國內主要晶圓廠半導體設備需求大幅增加下，拓荊科技各大產品線設備銷售訂單大幅增加，截至2022年底拓荊科技在手銷售訂單金額為46.02億元，2022年簽訂銷售訂單金額為43.62億元，新增訂單與上年同期相比增加95.36%，為業績高增長提供了有力保障。


北方華創、中微公司、盛美上海進入2022半導體設備營收前三，測試設備表現高毛利率

電子發燒友進一步對上述21家上市公司的半導體設備業務占比、2022年半導體設備業務營收、半導體設備毛利率等情況進行整理：

2022年半導體設備業務占比在50%以上的上市公司有北方華創、中微公司、盛美上海、長川科技、拓荊科技、華海清科、富創精密、芯源微、華峰測控、光力科技、金海通、廣立微、聯動科技、耐科裝備、晶升股份，達15家。2022年這些以半導體設備為主營業務的上市公司有9家實現半導體設備營收增速大于50%，這再次證實了2022年中國半導體設備業績快速增長的事實。

據電子發燒友的統計，以半導體設備營收計，2022年進入中國前五的上市公司是北方華創、中微公司、盛美上海、長川科技、拓荊科技，華海清科距離Top5還相差2.54億元。其中，北方華創2022年以102.83億元的半導體設備收入位列中國第一，中微公司、盛美上海分別以47.40億元、27.56億元排名第二、第三。這排名前三的上市公司，2022年半導體設備業務收入增速均在50%以上，表現更為強勁的是盛美上海，同比增長78.12%。



對于2022年半導體設備業務收入實現快速增長，盛美上海表示主要原因系，“一、受益于國內半導體行業設備需求的不斷增加，銷售訂單持續增長；二、新客戶拓展、新市場開發等方面均取得一定成效，且新產品得到客戶認可，訂單量穩步增長。”專注前道半導體設備研發的盛美上海，2022年推出了新一代ALD（熱原子層沉積）立式爐Ultra Fn A、前道涂膠顯影Ultra LithTM Track設備、Ultra PmaxTM PECVD設備以及CMP后清洗設備，并推出了6/8寸化合物半導體濕法工藝產品線，新品的持續推出為其2022年業績高增長提供了保障。

國產半導體設備龍頭北方華創，產品線相對豐富，覆蓋刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長等核心工藝裝備。在刻蝕設備方面，北方華創ICP刻蝕產品出貨累計超過2000腔，薄膜裝備累計出貨超3000腔，立式爐裝備累計出貨超過500臺，SiC外延爐、硅基GaN外延爐、6/8寸多片硅外延爐等外延設備累計出貨近千腔，清洗裝備也已在多家客戶實現量產，并屢獲重復訂單。

在盈利能力上，華峰測控的半導體設備毛利率最高，達77.01%。據了解，華峰測控主要是做半導體自動化測試設備，是我國最大的半導體測試設備供應商，近年其開始發力氮化鎵、碳化硅以及IGBT等功率分立器件和功率模塊類半導體測試領域。2022年，華峰測控銷售了1500套測試系統設備，銷量較上年小幅下滑0.92%，但其產品單價是提高，這也使得華峰測控整體的銷售額保持增長態勢。

同樣是做半導體測試設備的廣立微，當期毛利率也表現突出，僅次于華峰測控，達53.76%。廣立微是國內領先的晶圓級電性測試設備供應商之一，2020年開始實現晶圓級WAT電性測試設備的量產，并成功規模化進入國內多家知名晶圓廠，2022年其銷售51臺半導體測試設備，較2021年增長155%，具體單價并未披露。


研發累計投入54.15億，長川科技高研發追趕，至純科技、晶升股份專利表現突出

2022年中國本土的半導體設備上市公司業績快速增長，離不開長期的研發投入。據電子發燒友統計，下圖21家半導體設備上市公司2022年研發累計投入達54.15億元。

其中，研發投入過億元的半導體設備企業數量達12家，分別為北方華創、長川科技、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科、至純科技、富創精密、金海通、耐科裝備、芯源微、華峰測控。此外，更值得一提的是微導納米，其2022年半導體設備營收規模未過億元，但其研發投入達1.38億元，可見對研發的高度重視。


在國內的半導體設備行業，上市公司2022年研發費用的增速總體在30%以上，且研發投入金額較2021年增長50%以上的企業數量高達7家，它們分別為長川科技、中微公司、華海清科、富創精密、耐科裝備、富樂德。其中2022年研發投入加大幅度最大的半導體設備上市公司是長川科技。長川科技是一家100%以半導體設備為營收的企業，2022年研發資金主要用于測試機、分選機、探針臺、AOI等設備產品的新品開發以及應用工程開發、客戶定制化開發等。

在研發團隊規模上，國產半導體設備龍頭北方華創擁有近三千人的研發隊伍，其次是長川科技的1790名研發人員。長川科技的半導體設備營收雖然沒有進入2022年前三，但不管是在研發費用，還是研發團隊上，或者半導體設備業務增速上，其都強于中微公司和盛美上海，表現出更具想象力的發展潛力。

在專利數量上，北方華創知識產權積累較為深厚，2022年已獲得3900項專利，長川科技、中微公司和盛美上海獲得專利數分別為605項、1266項、389項。值得一提是，營收規模較小的至純科技專利數超過盛美上海，晶升股份專利數也表現突出，接近盛美上海。

小結：

經過梳理，可見2022年我國半導體設備上市公司業績總體表現是相對亮眼的，在增速這一點上也比海外巨頭表現更為強勁，凈利潤翻倍增長企業頻現，這側面可以看出近年本土廠商在半導體設備領域的技術突破是快速的，這也是能夠在美國管制下成功供應本土半導體產業鏈廠商，實現半導體設備營收快速增長的基礎。也許我們離海外巨頭還有不少需要追趕的距離，但國產半導體設備上市公司2022年普遍以超30%的增速加大研發投入開發新產品、新技術，更進一步增添國產替代的信心。