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白光干涉儀有哪些功能?能做什么?

jf_54367111 ? 來源:jf_54367111 ? 作者:jf_54367111 ? 2023-05-11 18:49 ? 次閱讀

通過之前的文章,

相信大家已初步了解白光干涉儀原理和優勢。

_______________________________

那白光干涉儀能做什么?

今天小優博士帶大家了解白光干涉儀的幾個經典用途。

一、超精細粗糙度測量

wKgZomRcyEWAHuTUAAAAlb5ht98807.pngwKgaomRcyEaAModVAACVuYiu1jM882.pngwKgZomRcyEaAYpWbAAAVk1WFyPc366.png

(例1)玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量 · 優可測白光干涉儀 NA-500拍攝

二、臺階高度

wKgZomRcyEWAHuTUAAAAlb5ht98807.pngwKgaomRcyEaAOU2hAABbV4pG8r0803.pngwKgZomRcyEaAA-3rAAAXTXiQmUU993.pngwKgaomRcyEeAHUijAAALQKBfbLk550.png

(例2)掩模版臺階高度測量· 優可測 白光干涉儀 EX-230 拍攝

三、形貌觀察&測量

wKgZomRcyEWAHuTUAAAAlb5ht98807.pngwKgZomRcyEeAGqSuAABEOcVJG2I768.pngwKgaomRcyEeAWXFeAABAWrRC1hQ302.png

(例3-1)菲涅爾膜形貌測量· 優可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

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(例3-2)金屬表面研磨后形貌觀察&測量 · 優可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

四、不同條件下實驗形貌比對&測量

wKgZomRcyEiAOJ-4AAPlBS3YRrk101.gifwKgaomRcyEiAHo0UAAA7yHvqwyM259.png

(例4)化工材料不同濃度液滴后形貌分析· 優可測 白光干涉儀 ER230 拍攝

五、“快速掃描”特性可配合機械手、

集成自動化設備進行在線測量

審核編輯黃宇

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