上兩期介紹了粗糙度的概念、設備，也著重說明了白光干涉原理在粗糙度的應用優勢，
而目前半導體、3C制造、材料、精密加工等領域，
除了粗糙度，還會涉及到臺階高度測量，微觀領域的臺階從幾個納米到幾百微米不等。
本期，小優博士帶大家一起了解白光干涉在測量臺階高度的優勢。
精度高
白光干涉儀精度可達亞納米級別
多線測量 工具豐富
快速選取比探針式更多的截面，保證測量穩定性；
功能豐富，自動測量最高最低點、平均值，統計分析。
圖2 ， “晶圓切割臺階深度”(由 優可測EX-230，20X 拍攝）
低至0.02%反射率的表面也可以輕松采集點云成像。
圖3，“超光滑玻璃鏡面”（由 優可測EX-230 ，20X 拍攝）
非接觸式測量
非接觸式不會刮傷表面，
軟質、尖銳產品可測。
圖4，“軟質材料凝固實驗”（由 優可測ER-230 ，20X 拍攝）
廣視野 速度快
倍率精度相同，可獲得大視野。
以面的形式掃描，
一般在數秒鐘內即可完成測量。
優可測白光干涉儀甚至可達400μm/s 掃描速度。
審核編輯黃宇
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
測量
+關注
關注
10文章
5089瀏覽量
112638 -
白光干涉儀
+關注
關注
0文章
120瀏覽量
2288
發布評論請先 登錄
相關推薦
邁克耳孫干涉儀白光等傾干涉的實現、條紋特征及形成機理
等傾干涉的實驗中，需要在邁克耳孫干涉儀的反射鏡前放置一塊玻璃板，以實現白光的等傾干涉。這是因為附加的玻璃板使光程相等時光源經兩反射鏡所成的虛像間有
FRED案例：天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。
發表于 01-21 09:58
關于白光干涉儀的常見提問及回答
原理相關1、白光干涉儀的基本原理是什么：白光干涉儀的基本原理是利用光學干涉原理。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表
馬赫澤德干涉儀
了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
建模任務
由于組件傾斜引起的干涉條紋
由于偏移傾斜引起的干涉條紋
**文件信息
**
發表于 12-25 15:42
天文光干涉儀
簡介 天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現
發表于 12-25 15:26
白光干涉儀測量原理及干涉測量技術的應用
白光干涉儀利用干涉原理測光程差，測物理量，具高精度。應用于半導體、光學加工、汽車零部件制造及科研等領域，雙重防撞保護保障測量安全。基本原理：白光
發表于 12-16 15:04
?0次下載
白光干涉儀測量原理及干涉測量技術的應用
白光干涉儀利用干涉原理測光程差，測物理量，具高精度。應用于半導體、光學加工、汽車零部件制造及科研等領域，雙重防撞保護保障測量安全。
激光干涉儀是如何測量位移的？
、質量控制和自動化生產中發揮著關鍵作用。激光干涉儀的基本原理是利用激光的干涉效應進行測量和分析。在國際上，有多種常用的激光干涉儀技術，如邁克
與白光干涉儀相關的精度概念都有哪些
文章介紹了白光干涉儀的Z軸垂直精度和XY橫向精度的相關概念，包括垂直分辨率、RMS重復性、臺階重復性等，以及影響精度的因素，并強調使用環境的穩定性對精度的重要性。
激光共聚焦和白光干涉儀哪個好？
在精密測量領域，激光共聚焦顯微鏡和白光干涉儀是兩種不同的高精度光學測量儀器。它們各自有著獨特的應用優勢和應用場景。選擇哪種儀器更好，取決于具
工商網監
評論