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PCSEL的工藝流程

冬至子 ? 來源:拓撲態與光電子器件 ? 作者:楊釗 ? 2023-05-22 11:43 ? 次閱讀

PCSEL的工藝流程比較簡潔,但也存在難點。

根據參考文獻,可以將工藝流程分為以下幾步:

設計外延片參數,第一次外延,制備光子晶體,第二次外延,制備臺面和電極。

設計外延片參數:自己完成外延片參數設計。

第一次外延:激光器的外延技術比較成熟,所以有很多商業公司可以提供該步工藝服務,或者自己有設備自己完成該步工藝。

制備光子晶體:PCSEL中的光子晶體周期和小孔直徑,一般在幾十納米到幾百納米,這個尺度需要EBL加工。EBL加工技術也比較成熟,有很多商業公司可以提供該步工藝服務,或者自己有設備自己完成該步工藝。該步工藝可以細分為以下幾步流程:

圖片

第二次外延:該步工藝是難點,也是研究工藝中的重點,外延過程中需要保留氣孔,可以算是PCSEL的專用工藝。目前應該很少有商業公司能夠提供該工藝服務,一般需要自己摸索該工藝,所以要么自己有設備自己摸索該工藝,要么租用別人的設備自己摸索該工藝。目前,也有很多該工藝的文獻[1][2]。

制備臺面和電極:該步工藝也比較成熟,有很多商業公司可以提供該步工藝服務,或者自己有設備自己完成該步工藝。該步工藝可以細分為以下幾步流程:

圖片

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