來源: Park

原子力顯微鏡(atomic force microscope, AFM)是一種通過探針與被測樣品之間的相互作用力來獲得物質表面形貌信息的納米級高分辨率的掃描探針顯微鏡。自1985年在美國斯坦福大學發明出首臺AFM以來，近40年里，由于AFM具有前所未有的高空間分辨率，并且可以測量納米級的多種物理性質，因此得到廣泛使用。而Park Systems創始人兼CEO Sang-il, Park博士是Calvin Quate教授實驗室的在讀研究生，參與并見證了首臺AFM的誕生。

“科技要發展，計量要先行”，由Park博士創立的Park Systems一直以其先進的自動化AFM系統聞名，率先將AFM技術作為納米級計量的主要工具，并使其成為半導體行業量測主流。

一切從新，華麗啟幕。2023年5月8日，Park Systems上海實驗室喬遷開幕式在上海德必虹橋國際WE盛大舉行。此次Park Systems上海實驗室重裝出發，旨在為中國先進學術領域作出科學和技術貢獻，提供更好的納米量測技術，幫助客戶在各自的量測測試應用中解決面臨的問題，提升工藝水平，提高研發效率。

開幕儀式后，ACT雅時國際商訊旗下《化合物半導體》雜志受邀獨家采訪了Park Systems中國區銷售總裁 張家榮先生，他就Park Systems在中國區的發展歷程和未來規劃進行詳細介紹。

△左：Park Systems中國區銷售總裁 張家榮

右：《化合物半導體》雜志負責人 程麗娜

一切從新，Park Systems上海實驗室擴建喬遷

“今天非常開心，上海實驗室擴建喬遷代表了Park Systems更上一層樓。”張總表示。談及他個人對于AFM技術的認識與看法，會發現其個人的經歷與Park Systems在中國大力發展并取得卓越成績息息相關。

△Park Systems上海實驗室現場合影

“我自2001年以來一直從事原子力顯微鏡的推廣工作。早期主要服務于學術市場；3年后，開始在行業中尋找和培養AFM應用；2005年到2012年，我將AFM引入半導體故障分析，后端過程和LED PSS監控；2015年之后，隨著先進半導體的快速發展，全球范圍內都在為研發出更小更有效率的半導體元器件而激烈競爭，AFM憑借其獨特的技術，市場應用場景大規模增加。”張總強調道，Park Systems的產品能力、公司文化與半導體行業契合，于是決定在2017年加入Park Systems。天時，地利，人和，正確的產品和正確的市場相結合，迅速取得了成功。5年內，Park Systems在中國地區銷售了100多臺在線原子力顯微鏡。如今，AFM廣泛應用于半導體領域的研發、制造和質量分析，而Park Systems成為半導體行業原子力顯微鏡的領導者。

一路走來，回顧公司發展歷史，張總將其總結為二大階段。

AFM先鋒，Park Systems嶄露頭角（1988-1997）

1985年，Gerd Binnig(IBM公司阿爾瑪登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司蘇黎世研究實驗室)、Calvin Quate教授(斯坦福大學)共同發明了原子力顯微鏡，并共同在1986年3月的物理評論快報上發表了該成果。此時，Park Systems創始人兼CEO Sang-il, Park博士是Calvin Quate教授實驗室的在讀研究生，參與并見證了首臺AFM的誕生。獲得博士學位之后，Park博士意識到AFM技術的廣泛應用潛力，并于1988年創立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作為世界上最初的商業化AFM公司在硅谷獲得了巨大成功。同時，Calvin Quate教授作為PSI聯合創始人之一，也是公司董事會成員。

△原子力顯微鏡的發明是量測技術和納米刻蝕的一大突破，推動著納米科學和技術的發展。為表彰此技術發明者作出的巨大貢獻，被譽為第二諾貝爾獎的2016年卡夫利獎納米科學獎頒發給了Gerd Binnig、Christoph Gerber和 Calvin Quate，上圖為頒獎現場留念：Calvin Quate(中)，Park博士(左)。

當仁不讓，工業界量測儀器領導地位（1997-2022）

1997年，Park博士將正在良好發展的PSI出售給Thermo Spectra。回到韓國，Park博士創立了其第二家AFM公司——PSIA。自此，公司進入高速增長的快車道。

2003年，成功開發HDD專用AFM；2007年，在公司10周年紀念日將公司名稱正式更名為Park Systems，并一直沿用至今；2013年，成功開發半導體專用AFM；2015年，尋求與IMEC合作；2016年，憑借與客戶緊密的合作進而開發出滿足客戶期待的AFM，Park System客戶大多數是世界前20的半導體公司和亞洲、歐洲和美洲的國家研究型大學,在10納米先進制程量測領域取得不菲業績,占據半導體市場領導地位……

△Park Systems中國區銷售總裁 張家榮

“堅持把AFM的方案帶到工業界客戶面前是一條艱辛且漫長的路，也正是源于這份自1997年以來就存在的堅守，Park才能在這么多競爭者中脫穎而出。”張總強調Park的核心競爭力就是擁有完整的產品線，可以應對不同客戶群的個性化應用，專為客戶需求研發，其產品的影響力高度適配半導體領域頂尖客戶，“成功的關鍵就是深厚的AFM技術存量以及豐富的工業界知識，兩者缺一不可”。

談及未來，Park System有遠大目標，即提供AFM和光學結合的計量解決方案。

張總介紹道， Park System延伸所擁有的AFM技術，結合光學領域的技術，往前深耕工業領域，比如在半導體領域提供具有自動缺陷原子力分析儀的低噪音、高通量的原子力顯微鏡（NX-Wafer）。其所具備的自動缺陷復檢（ADR）技術擁有納米級分辨率，可在三維空間中可視化缺陷，是第三代半導體制造中的關鍵設備。

再比如，在半導體行業引入用于失效分析和大型樣品研究的納米計量工具NX20，實現高量率精準且高重復性的測量，使用真正非接觸式掃描方式，保證樣品損壞最小化，實現缺陷、形貌精密分析。

同時，Park System不忘初衷，繼續將AFM技術用于大學或者研究機構的基礎研究中，從科研界源頭改變對AFM使用的看法。比如為納米科學研發應運而生的新型全自動AFM——FX40，集全自動技術，配備智能學習的人工智能軟件，是世界首臺能夠自動化所有前期設置和掃描過程的智能型AFM。

此次，上海實驗室的擴建，正是為未來打下堅實基礎。

“2018年Park北京分公司成立伊始，我們就有決心投入更多資源來經營中國市場，今年擴建上海實驗室亦是規劃中的一部分。我們的初衷始終都是為客戶提供最優質的AFM以及專業的售后服務。”他說道，“Park Systems上海實驗室，位于虹橋商務區核心區，總建筑面積近500平方米，擁有12英寸的NX-Wafer自動化在線機臺樣機、8英寸的NX20樣機、研究型NX10樣機。近期還會進駐全自動化研究型FX40機臺樣機，不久的將來，還會進駐Park Systems新晉收購的德國Accurion品牌的EP4成像橢偏儀及主動隔振平臺產品。這些產品和應用方案可以給客戶從購買設備之前的調研考察到售后階段的各種應用需求提供完備的技術支持，幫助我們的客戶在各自的測量測試應用中解決問題，提升工藝水平，提高研發效率。”Park System一直以來，以其高尖端產品質量和快捷優質的售后服務受到廣大客戶的認可，如今大中華區團隊接近40人，有一半以上是加入前就有AFM經驗。新人則由我們原廠超過15年的老師手把手教導，再配合中國市場5個實驗室的demo機反復練習。此次上海實驗室的擴建除了硬件的更新以外，更強調了中國區的售后服務工作，擁有專業的服務團隊，加強并落實在地直接維修服務和當地定點配件備料管理，“在這里還能提供Park內部人員、客戶人員的培訓，以及進行相關故障的排查配合等”。

技術革新，Park Systems腳步不歇

張總與我們談起Park System針對傳統AFM技術局限進行的一系列技術革新。

成像/計量工具的本質為準確性、速度和易用性，而傳統AFM中，如管式掃描器常導致響應慢、圖像失真；輕敲模式導致探針尖端磨損、樣品損壞；眾多參數設置、激光聚焦等繁瑣操作更是被圈內人士所詬病，這些都嚴重影響了AFM的進一步應用拓展。

“Park System在原子力顯微鏡的漫長發展歷程中，始終在踐行最初的想法，就是為廣大客戶制造出最精確且極具易用性的AFM。為此推出True Non-Contact?模式和眾多自動化軟件等創新產品功能。希望通過我們不斷的努力，讓AFM成為一個更加友好，任何人都可以操作的通用型成像/計量工具。”張總說道。

△Park NX-Wafer潔凈室現場演示

革新技術之“三軸分離掃描器技術及非接觸模式”

對AFM結構進行重新設計，將XY掃描器和Z掃描器分離，兩組獨立的柔性掃描器分別移動樣品和探針，兩組掃描器都配置柔性鉸鏈和大功率疊層壓電驅動器。快速z掃描器則為真正的非接觸模式提供了可能，實現了探針與樣品間的真正非接觸，避免形貌掃描過程中因探針磨損帶來的圖像失真，能夠快速成像的同時還可以大大提高測試效率，降低實驗測試成本等。

△Park Systems中國區銷售總裁 張家榮

革新技術之“掃描速度與掃描分辨率兩者優化處理技術”

開發了一套智能的、擁有自適應能力的自適應掃描系統(Adaptive Scan)，以便根據用戶對掃描速度與掃描分辨率的不同需求做好傾向選擇，而不用設定或猜測真正的掃描速率是多少，更充分發揮AFM在研究或生產中的效率。同時，開發了軟件系統“Park SmartScan”，三次鼠標點擊即可得到一個完整的形貌圖：首先找到目標感興趣區域，然后設置需求的像素、掃描尺寸、精度/速度傾向選擇，最后點擊IMAGE出圖。

當今納米技術已經成為幾乎所有高科技產業發展的基礎，要使納米技術為高新技術產業做出應有貢獻，需首先建立納米計量學，Park Systems擁有先進AFM技術，這對納米技術的發展至關重要。“為科學家和工程師實現納米級進步，助其解決世界上最緊迫的問題，并推動科學發現和工程創新不斷地前進”是Park System義不容辭的使命。張總堅定表示，中國擁有世界數一數二的投資市場，無論半導體工業市場還是高校院所等研究機構的研究型市場都備受關注，Park Systems上海實驗室將通過AFM技術為此作出科學和技術貢獻，迎來跨越式發展。

△Park Systems中國區銷售總裁 張家榮

關于Park原子力顯微鏡公司

作為當今發展最快、世界一流的原子力顯微鏡系統制造商，Park原子力顯微鏡(Park Systems)一直與時俱進，竭誠為化學、材料、物理、生命科學、半導體和數據存儲等行業的研究員及工程師提供各系列產品。“真誠協助科學家和工程師解決世界上最緊迫的難題，源源不竭推動科學發現，堅持拓展工程創新的邊界，不斷實現納米級的進步”始終是Park原子力顯微鏡的使命。發展至今，Park Systems 的客戶已涵蓋了多數世界領先級的半導體公司和亞洲、歐洲和美洲的國家研究型大學。Park原子力顯微鏡(Park Systems)是韓國證券交易所 (KOSDAQ) 的上市公司，其總部位于韓國水源，地區總部位于美國、墨西哥、德國、法國、英國、大中華區、日本、新加坡和印度。

審核編輯黃宇