中圖儀器SuperViewW系列白光干涉儀采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

如一張經由VCUT微刻刀加工過的塑料薄片放到顯微鏡下，看到的是一面布滿點狀顆粒，另一面則被條狀溝槽所填滿，構成了塑料片表面的微觀世界。

使用中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀對這張塑料片上下表面進行掃描，點顆粒和溝槽輪廓一覽無余。

點顆粒是凸點，而溝槽則是弧形波，進一步使用儀器的輪廓分析功能對凸點和弧形波進行測量，得到它們的尺寸數據。

單個凸點截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°，分布周期97μm；單個弧形波高約1.6μm、寬約35μm，周期35μm。

SuperViewW系列三維輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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