首先，等離子清洗機主要通過氣體放電產生等離子。氣體放電中含有電子、離子、自由基、紫外線等高能物質，具有活化材料表面的作用。例如，低質量、快速移動的電子可以首先到達材料表面并帶負電，同時在材料表面產生碰撞效應，加速氣體解吸或分解。分子也吸附到表面并幫助引發化學反應。當材料表面帶負電時，帶正電的離子會加速并撞擊，由此產生的濺射會去除粘附在表面的顆粒物質。等離子體中自由基的存在對于清潔非常重要。自由基容易與物體表面發生化學鏈式反應，因此會產生新的自由基或進一步分解，最終分解成易揮發的小分子。射線具有很強的光能和傳輸能力，可以穿過物質。表面有幾微米深，作用是破壞和破壞附著在表面上的物質的分子鍵。

(1)放電壓力：在低壓等離子體的情況下，放電壓力越高，等離子體密度越高，電子溫度越低。等離子體的清潔效果取決于等離子體的密度和電子溫度。例如，密度越高，清洗速度越快，電子溫度越高，清洗效果越高。因此，放電氣體壓力的選擇對于低壓等離子清洗工藝非常重要。
(2)氣體種類：待處理基材及其表面污染物種類繁多，各種氣體排放產生的等離子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，應有針對性地選擇等離子體的工作氣體。例如，使用氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢，或使用氫氬混合氣體等離子體去除氧化層。
(3)放電功率：提高放電功率可以增加等離子體的密度和活性粒子的能量，從而提高清洗效果。例如，氧等離子體的密度受放電功率的影響很大。
(4)暴露時間：待用等離子體清洗材料的暴露時間對其表面清洗效果和等離子體工作效率影響很大。曝光時間越長，清洗效果越高，但工作效率越低。而且太長了長時間清洗會損壞材料的表面。
（5）傳輸率：在常壓等離子清洗過程中，處理大型物體時會出現連續傳輸的問題。因此，待清潔物體與電極之間的相對運動速度越慢，治療效果就越高。
(6)其他：等離子清洗過程中的氣體分布、氣體流速、電極設置等參數也會影響清洗效果。因此，需要根據實際情況和清洗要求，設定具體合適的工藝參數。