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三維光學(xué)輪廓儀測試分析輪廓度步驟

中圖儀器 ? 2022-08-31 15:07 ? 次閱讀
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SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

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SuperView W1三維光學(xué)輪廓儀測試分析輪廓度步驟介紹:

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;

2.檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認儀器狀態(tài);

3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;

4.微調(diào)XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋;

5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;

6.點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);

7.臺階樣品分析第一步:校平;

8.進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“校平”圖標(biāo),和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準區(qū)域,選好基準區(qū)域后,先“全部排除”再“包括”;

9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區(qū)域作為基準面進行校平;

10.臺階高度測量:線臺階高度測量

11.進入分析工具界面,點擊“臺階高度”圖標(biāo),即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數(shù)據(jù);

12.在右側(cè)點擊“手動檢測”,根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值;

13.臺階高度測量:線臺階高度測量

14.進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“提取剖面”圖標(biāo),使用合適方向的剖面線,提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線;

15.進入分析工具界面,點擊“臺階高度”圖標(biāo),由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度,因此點擊右側(cè)工具欄,測量條對數(shù)選擇“2”,將紅色基準線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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