大家好,我是【廣州工控傳感★科技】4515DO-DS3BS002DP傳感器事業部,張工。
潔凈室壓差測試的目的是驗證完成設施與周圍環境之間以及設施內空間之間保持指定壓差的能力。本試驗適用于空、靜態、動態潔凈室的占用狀態。項目建成后,需要定期進行壓差試驗。那么潔凈室工程設計、規劃、安裝完成后,如何按照設計方案設置潔凈室的壓差呢?如何檢測潔凈室的壓力是多少pa?什么是科學的檢測方法?
4515DO-DS3BS002DP
一、潔凈室工程中的壓力測試方法有哪些?
1、無塵車間——是的——無塵車間
2、無塵車間-對-公共參考點
需要記錄大壓差的通常使用通用參考點方法來最大限度減少4515DO-DS3BS002DP壓力傳感器的數量,同時最大限度地減少匯總多個讀數時出現的復合誤差。壓降變送器的一個端口(通常;高;側)通過管道連接到被監測的潔凈室,而另一側(通常;低;側)通過管道連接到受風影響的壓力穩定位置的公共參考點(或 通過集管連接到壓力穩定的位置)。理想情況下,壓力參考點的位置應該有較大的體積,較少的開口,并且相對于外部沒有壓力變化或變化速度較慢。
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二、潔凈室工程靜壓差測量要求:
1、4515DO-DS3BS002DP傳感器的靜壓差測量是在潔凈車間所有門完全關閉的情況下進行的。
2、按從高潔凈度房間到低潔凈度房間的順序,一直到直接通往室外的房間。
3、測量管口設置在室內空氣不受干擾的地方。
4、測量數據應精確到1.0Pa。
三、潔凈室中靜壓差的測定步驟:
1、潔凈區所有門均關閉。
2、用微差壓表測量潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的壓力差。
3、 記錄在案
4、測量靜壓差的儀表:一般用于測量靜壓差的儀表、斜壓表、精密指針壓力表或其他靈敏度小于1.0Pa的壓力表。
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四、合格標準:
1、不同等級的潔凈室工程(區)與非潔凈室(區)的靜壓差不應小于5Pa。 風淋室是指控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的清潔度和溫濕度,使產品在良好的環境空間內生產制造。 這個環境空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。
2、潔凈室工程(區)與室外的靜壓差不小于10Pa。 目前層流罩最高級別是航天的航空倉,基本屬于1級,屬于特殊領域,面積比較小。 此外,生化實驗室和高精度納米材料生產車間對水平要求更高。 物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
3、潔凈度等級嚴格的單相流潔凈室開門時,距門0.6m以內的室內工作面粉塵濃度不應大于相應等級的粉塵濃度限值。
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