微訪談：菲萊測試研發總監張文修

采訪背景：上海菲萊測試技術有限公司（簡稱：菲萊測試）是一家專注芯片檢測、可靠性、封測技術開發的高新技術企業，半導體老化測試設備和相關服務提供商，致力于幫助客戶解決半導體芯片測試和可靠性問題。菲萊測試旗下擁有菲萊科技、菲光科技兩個自主品牌，業務覆蓋光通訊、消費電子、車載芯片等領域。菲萊測試團隊在光芯片測試設備領域擁有豐富的從業經驗，長期從事光芯片相關工藝、測試、封裝及可靠性研究，并對光芯片技術及應用具有深刻的理解。菲萊測試總部位于上海，在天津、無錫、武漢分別設有分公司，并在天津、深圳、四川等多地設有技術支持服務中心。為了深入了解菲萊測試在光傳感方面的業務布局及進展情況，麥姆斯咨詢近期采訪了菲萊測試研發總監張文修。

麥姆斯咨詢：首先，請您先自我介紹一下吧，包括從業經歷及目前公司職責。菲萊測試核心團隊情況也請概述。

張文修：大家好，我是菲萊測試張文修，在光通信行業10余年的工作過程中，先后從事過工藝開發、測試研發以及設備開發工作，目前負責菲萊測試設備類產品的研發工作。菲萊測試核心技術團隊均來自于國內外半導體行業知名企業，在設備領域有豐富的從業經驗，并長期從事該領域相關工藝、測試及可靠性研究，對芯片生產制造工藝和可靠性測試有深刻理解。

麥姆斯咨詢：接著，請介紹菲萊測試的發展歷程，包括重要的里程碑事件。

張文修：菲萊測試2018年5月份成立于上海，同年11月份成為國內光電龍頭企業的合格供應商，2019年底銷售額突破1億元大關，同時成立了菲光芯片代工事業部。2020年和2021年分別完成了A輪和B輪融資，員工超過200人。

麥姆斯咨詢：菲萊測試的業務模式多種多樣，包括測試服務、代工服務、設備供應等，請您展開介紹一下。

張文修：是的，菲萊測試的產品布局幾乎涵蓋了光通信領域的所有可靠性測試設備，借助于自身的設備優勢，公司在2019年和2020年陸續投入超過5000萬資金，分別在無錫和武漢成立了無錫菲光科技有限公司（簡稱：無錫菲光）和武漢菲光科技有限公司（簡稱：武漢菲光），專注于為光芯片客戶提供測試服務和代工業務。如下是菲光科技已經成熟的業務版圖：

菲光科技業務版圖

麥姆斯咨詢：菲萊測試掌握了哪些光芯片測試方面核心技術？

張文修：菲萊測試團隊憑借對芯片生產制造工藝和可靠性測試的深刻理解，先后開發了多款用于芯片老化測試方面的核心設備，詳見下圖：

菲萊測試相關設備

麥姆斯咨詢：菲萊測試的設備可以提供從晶圓到模組的全系列測試及代工服務，針對光傳感VCSEL方向，具體有哪些規劃和發展？典型客戶有哪些？

張文修：菲萊測試從2018年創業伊始就專門成立VCSEL老化測試設備開發團隊。2018年底，在國內率先推出了VCSEL芯片級老化測試整體解決方案，2019年上半年又推出了晶圓級LIV、NF、FF一整套測試解決方案。目前在VCSEL領域的設備裝機量已超過60臺。消費級的VCSEL從晶圓測試到可靠性實驗全系列產品線在2019年底已經成熟。車載VCSEL芯片的晶圓級別100 ns窄脈沖測試設備在2022年底已經發布，10 ns以內的可靠性設備正在開發中，預計在2023年底之前發布。

深耕VCSEL領域多年，菲萊測試的客戶群體覆蓋了絕大多數國內VCSEL芯片設計公司和代工企業，禾賽科技、縱慧芯光、三安光電、長光華芯等都是我們的重點客戶。

麥姆斯咨詢：從消費電子到汽車電子，不同的光傳感應用對VCSEL測試的要求有何主要差異？

張文修：主要差異在測試條件上，消費電子VCSEL在10 us ~ 3 ms的脈沖測試基本能覆蓋所有產品，但車載激光雷達（LiDAR）VCSEL的測試基本要在100 ns以下的窄脈沖進行測試，甚至在不同的芯片形態下要做到幾個ns的量級。最主要的原因是車載芯片對功率密度要求較高，VCSEL芯片從5結、6結逐步在往更高結數演進，更窄的脈沖能將芯片的結溫保持在合理的水平。

麥姆斯咨詢：面向汽車類激光雷達，VCSEL可靠性測試方面有哪些挑戰？

張文修：可靠性測試主要是通過對芯片的加速老化來發現在設計和制造過程中的缺陷。這里分老化和測試兩部分，老化設備提供加速老化條件使產品老化，測試設備盡可能還原產品的真實使用工況，來獲取產品的性能參數，以反映經過老化后的性能變化。這兩種設備均需用到窄脈沖條件，窄脈沖的產生和驅動源以及驅動鏈路的感抗有極大的關系，所以可靠性測試方面都會面臨驅動源的設計和測試鏈路布局的挑戰，需要進行大量的仿真和實驗迭代驗證。

麥姆斯咨詢：汽車類激光雷達應用的VCSEL測試方面，產業鏈對測試項目、測試標準是否已有統一認知或者達成共識？請談談您的理解和看法。

張文修：激光雷達VCSEL在產品形態上和消費級VCSEL基本相同，測試項目包含光電性能測試（LIV測試、光譜測試）和光斑質量測試（遠近場測試），測試項目中包含的參數計算方法，ISO標準里也有對應的要求，業內已經基本達成共識。但由于VCSEL在激光雷達上的應用時間比較短，應用的條件和環境在變化，需求也在不斷變化，尚未有統一的測試標準。

麥姆斯咨詢：近些年，VCSEL技術發展迅速，新的測試需求不斷涌現，菲萊測試針對極窄脈沖的LIV測試及多結、可尋址VCSEL測試方面有何進展？

張文修：菲萊測試LiDAR VCSEL窄脈沖驅動設備在2022年底已經發布，支持多結產品50 A/60 V/100 ns的窄脈沖測試。多分區和可尋址VCSEL的測試，在今年7月底也已經完成，已經在無錫菲光實驗室接受客戶的打樣測試，歡迎前來溝通。

LiDAR VCSEL窄脈沖量產型晶圓測試臺

麥姆斯咨詢：針對汽車類激光雷達廠商，例如禾賽科技、速騰聚創等，菲萊測試提供哪些服務？

張文修：禾賽科技現場有多臺菲萊測試的設備在使用中，也有一些可靠性代工、測試、分選代工服務與無錫菲光合作，由于和客戶之間有保密協議，細節方面不方便透露。

麥姆斯咨詢：入局光芯片測試行業多年，給您的最深感受是什么？

張文修：光芯片的迭代速度很快。從40 G到400 G的發展只用了幾年的時間，從指紋解鎖、掃碼支付到現在的人臉識別的普及也只用了短短兩三年時間，這在很大程度上改變了人們的生活質量和生活方式。

國內光芯片可靠性測試設備起步較晚，但現在迎著中國制造和中國創造的東風，借助行業基金的扶持和產業鏈上下游的相濡以沫，也正在迅速崛起。國產設備的質量、性價比以及后期的服務優勢也日益彰顯。隨著國內光芯片、光模塊企業蓬勃發展，國內產業鏈逐漸完善，全球的重心已在向中國傾斜，這給該行業的從業人員和相關企業帶來了比較好的機遇。我為自己和公司能身處這個行業而感到榮幸！

麥姆斯咨詢：您如何看待國內企業在光傳感測試方面的競爭力？處于何種國際水平？

張文修：光傳感測試范圍比較大，就談談我對VCSEL傳感測試方面淺顯的認知吧。VCSEL在傳感方面大規模的應用應該是從蘋果手機的人臉解鎖功能興起的，那時國內該行業處于起步階段，對于芯片的制造、測試的認知還不完善，測試設備的選擇也大多優先考慮大陸以外的公司。菲萊測試成立之前創始人團隊在謀劃產品路線時，VCSEL可靠性測試便是其中之一，但同時也深知國內行業階段和技術門檻的機遇與挑戰。

菲萊測試成立之后，即著手VCSEL測試設備的開發，經過5年的付出和積累，在VCSEL可靠性測試方面做到了國內領先，可以說菲萊測試VCSEL產品線的成長是隨著國內VCSEL行業一同成長起來的。國內VCSEL產業蓬勃發展的這幾年，從業人員急劇增加，國內測試設備的參與者也越來越多，VCSEL的應用方案更是層出不窮，對于設備的功能需求也更加多樣化，菲萊測試以及國內友商堅持做好設備基本功能之外，還匹配了多樣化的需求。我認為，國內企業當前在VCSEL測試方面的競爭力已經趕上甚至超過國際平均水平。

麥姆斯咨詢：近期，菲萊測試是否有融資計劃？如果有，請闡述融資金額及用途。

張文修：可能有，目前公司還在內部討論中。

麥姆斯咨詢：2023年9月，您將參加『第34屆“微言大義”研討會：3D視覺技術及應用』并發表題為“VCSEL芯片測試及可靠性技術新挑戰——針對激光雷達應用“的演講，在此可以先透露一些信息嗎？

張文修：我將介紹菲萊測試在VCSEL測試領域的一些新突破，不過暫時在此賣個關子，如果有對VCSEL測試方面感興趣的同仁歡迎來現場聆聽與交流，肯定不會讓大家失望。