臺積電公司表示，目前不考慮第三階段入住龍潭產業園區。中國臺灣經濟部表示臺積電的最先進的制造工藝和主要生產能力是留在臺灣，是不會變的，經濟部門的相關制造企業密切接觸，不管哪一個縣或市，先進的制造工藝，留在臺灣，將完全支持。”

最近，中國臺灣龍潭科學園區三期土地征收擴大計劃遭到地方居民的抗議。臺積電表示，公司作為科學園區土地的企業租賃者，公園規劃是相關部門的權限，公司尊重居民和主管機關，不能再對征地進行評論。為了維持過去的增設速度，還將與管理局持續推進對臺灣半導體工廠用地的評價。

經濟部門表示：“半導體產業對臺灣具有高度的戰略意義，因此，無論是哪個縣，都將重點放在讓先進工程留在臺灣上，并給予全面支援。他表示：“如果制造企業表明意向，將協助探索多種可能性?！?/p>

臺積電計劃將2nm、3nm芯片生產能力部署在南科、竹科、中科和高雄地區，當初計劃在臺灣龍潭科學園區第3階段建設2nm芯片工廠。