近日，中國&全球領先的MEMS芯片代工企業賽微電子發布公告，其與深重投集團關聯體等成立的合資公司已注冊成立，該公司將建設、運營深圳首條MEMS中試線。

同時，據公告顯示，深圳首條MEMS中試線具體位置已經落定，近期將可動工建設。據相關信息透露，該產線背后股東有華大、華為等產業巨頭身影。深圳首條MEMS中試線落地哪里？有什么流片政策？為什么MEMS中試線對地區傳感器產業發展這么重要？下文揭秘。

深圳MEMS中試線最早在2022年11月舉行的深圳首屆傳感器與應用技術大會上有消息披露，今年11月11-12日，第二屆傳感器與應用技術大會舉行，將有更多中國傳感行業前沿信息分享，詳情參看《第二屆傳感器與應用技術大會11月11日深圳開幕》

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深圳特區首條MEMS中試線落地曝光！中國&全球第一MEMS代工廠主導建設！華為、華大入局?

11月2日，中國&全球領先的MEMS芯片代工企業北京賽微電子發布公告稱，其旗下全資子公司賽萊克斯國際擬與深圳市重大產業投資集團有限公司關聯主體、遠致星火、華大松禾、科萊恩特、賽萊創晶簽署《投資合同》，共同出資設立賽萊克斯微系統科技（深圳）有限公司（簡稱“賽萊克斯深圳”），已經完成登記注冊。

賽萊克斯深圳將是深圳市智能傳感器MEMS中試平臺項目的建設和運營主體，該項目也將是深圳特區首條MEMS中試線。

▲來源：賽微電子公告書

公告顯示，賽萊克斯深圳的注冊地址為“深圳市光明區鳳凰街道東坑社區鳳歸路 3 號 2 棟一層”，該地址應為深圳首條MEMS中試線具體落地地點。

相關資料顯示，鳳歸路3號2棟二層為今年4月份剛剛通線的基本半導體車規級碳化硅芯片產線項目，廠區面積13000平方米，主要產品為6英寸碳化硅MOSFET晶圓等，產線達產后每年可保障約50萬輛新能源汽車的相關芯片需求。

深圳MEMS中試線計劃于今年底前開始建設，利用已有廠房資源，將加快深圳MEMS中試線建設速度。

▲來源：百度地圖

據此前資料顯示，賽萊克斯深圳的注冊資本為15億元，其中賽萊克斯國際出資4.5億元，持有30%股權；科萊恩特出資4.1億元，持有27.334%股權；深重投集團關聯主體出資3.6億元，持有24%股權。此外，賽萊創晶、遠致星火、華大松禾分別出資1.5億元、9999萬元、3000萬元。

▲來源：賽微電子公告書

值得一提的是，華大松禾是華大科技與深圳國資等共同設立，華大科技旗下的華大基因是全球最大基因測序企業，基因測序中使用的微流控芯片基于MEMS技術制造，微流控芯片又稱芯片實驗室（lab-on-a-chip），是當代極為重要的新興科學技術平臺。

據網易財經公眾號援引海報新聞報道，遠致星火是華為通過旗下哈勃投資與產發集團、深圳資本合作設立的股權投資基金。

▲來源：網易財經

據賽微電子2023年第三季度財報顯示，第三季度賽微電子在BAW濾波器、MEMS振鏡、MEMS加速度計等多種關鍵MEMS器件方面實現量產，對第三季度營收情況具有重大利好。BAW濾波器是5G/6G通訊關鍵部件。

第三季度賽微電子營業收入5.13億元，同比增長188.36%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3969.72萬元，同比增長693.21%。

總投資多少？產量多少？有什么工藝？流片有什么補貼？還有什么優惠政策？

據此前2022年11月舉行的中國傳感器與應用技術大會暨光明專項招商大會上，首次有消息確認，總投資額約15.33億元的大灣區MEMS中試線項目將落戶深圳光明區，并計劃于2025年建設完成，該投資金額與賽萊克斯深圳注冊資金數吻合：

據悉，該項目規劃建設一條約產能3000片晶圓/月的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺，以幫助相關中小企業實現從MEMS工藝研發、中試到小規模量產的無縫對接，降低初創公司的創業風險和資金壓力，加速成果產業化進程，助力形成企業聚集效應。同時，總規模50億元的智能傳感器產業基金也將落地光明。

自2020年以來，廣東省及深圳市省市政府推出了鼓勵智能傳感器產業發展的多項重要政策，向產業釋放中國經濟領頭羊扶持國產傳感器產業的決心，這些政策包括：《廣東省人民政府關于培育發展戰略性支柱產業集群和戰略性新興產業集群的意見》、《深圳市人民政府辦公廳印發關于加快集成電路產業發展若干措施的通知》、《深圳市人民政府關于發展壯大戰略性新興產業集群和培育發展未來產業的意見》、《深圳市培育發展智能傳感器產業集群行動計劃（2022—2025 年）》等。

深圳對智能傳感器產業空間布局，重點落在了南山、龍華和光明這三區。其中，南山區的定位重點放在了“產學研”；龍華的定位是“3C應用示范”；而光明區任務最重，肩負建設MEMS中試線、智能傳感器產業園等任務。

此外，總規模50億元的智能傳感器產業基金，也已在2022年12底落地光明區，光明區成為深圳市重點打造的智能傳感器產業高地。因此，對深圳粵港澳大灣區MEMS中試線的產業政策，均由光明區落地。

據2023 年3 月25日光明區政府發布的《深圳市光明區關于支持智能傳感器產業集群高質量發展的若干措施》（下文簡稱《措施》）文件顯示，重點鼓勵傳感器企業利用光明區MEMS中試平臺流片，將對企業在該中試線首次流片費用的60%給予補貼，單個企業年度最高補貼不超過600萬，相比企業在外地流片補貼力度增加了一倍：

第八條 支持企業首輪流片。支持智能傳感器企業開展高端智能傳感器首輪流片，按照工程產品首輪流片費用（含IP授權或購置、掩模版制作、流片等）的30%給予補貼，單個企業年度最高補貼不超過 300 萬元。鼓勵企業利用光明區MEMS中試平臺流片，按首次流片費用的 60%給予補貼，單個企業年度最高補貼不超過 600 萬元。

《措施》在第四條“支持建設智能傳感器MEMS 中試線”，提到：

第四條 支持建設智能傳感器MEMS 中試線。支持引進國內外一流 MEMS 晶圓制造產線建設運營機構，在光明區建設一條兼具研發中試和量產能力的亞微米級8 英寸MEMS 中試線，重點推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應力控制等核心制造工藝升級，形成標準工藝設計工具包（PDK），面向市內外有關企業提供研發中試和批量代工服務。對項目涉及的相關主體采取“一事一議”方式予以支持。

顯然，文中提到的引進“國內外一流MEMS晶圓產線建設運營機構”已經可以明確是賽微電子。

深圳MEMS中試線制程為亞微米級（100nm-1um），將著力于推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應力控制等核心制造工藝升級，并形成標準工藝設計工具包（PDK）。

除建設MEMS中試線外，《措施》中提到依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業建設智能傳感器先進封測服務平臺：

第五條 支持建設 MEMS 先進封測公共服務平臺。依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業建設智能傳感器先進封測服務平臺，鼓勵區內相關企業利用自有封測產線承接封測服務平臺服務需求，共同為企業提供封裝方案設計與仿真、封裝組裝、測試包裝等工藝定制化開發和產品封裝代工服務，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。對建設先進封測服務平臺，按照項目實際投資的 40%，給予最高不超過1000 萬元補貼。對企業將自建封測線對外開放，配合區級智能傳感器先進封測服務平臺承接封測服務的，按服務合同額的10%，給予每年最高200萬元補貼。

《措施》提到支持建設技術協同平臺，最高補貼1000萬元：

第六條 支持建設技術協同平臺。鼓勵建設數字化、國際化、標準化的技術協同平臺，提供案例發布、供需對接、技術交流等創新體驗，推動實現消費電子、汽車電子、智能制造等應用領域與智能傳感器技術產品雙向匹配。遴選世界領先的智能傳感器技術協同平臺，對入選平臺分 3 期給予建設補貼，最高補貼1000萬元。支持區內企業上平臺開拓市場，提升國際知名度和影響力，對使用區級智能傳感器技術協同平臺服務的企業，按照平臺當年度收取服務費用的 50%給予一次性補貼，最高補貼20萬元。

此前已經落地的50 億元人民幣的智能傳感器產業發展基金，《措施》中也明確提到了其用途，將主要用于股權投資和招商引資，并且以IDM企業為主：

第七條 開展精準靶向招商。設立規模不少于50 億元人民幣的智能傳感器產業發展基金，開展股權投資，強化招商引資。瞄準智能傳感器行業領軍企業，引進國際領先的消費、汽車、工業智能傳感器整合元件制造商（IDM）落地。對經認定的重大項目落地建設予以支持，按項目實際投資額的20%，給予最高不超過5000 萬元獎勵。

除上述重大項目外，《措施》中對關鍵合計技術攻關、企業并購重組、企業建設先進封測產線、企業建設智能傳感器專業園區等等均有扶持措施。《深圳市光明區關于支持智能傳感器產業集群高質量發展的若干措施》原文可在深圳市光明區政府官網查看，或在傳感器專家網公眾號對話框回復關鍵詞【資料下載】，在資料下載頁面搜索找到對應文檔即可下載。

為什么MEMS中試線對一個城市的傳感器產業發展這么重要？

1、掙脫卡脖子困境，帶動地區傳感產業升級 高科技產業，技術為本。在一顆MEMS傳感器中，什么最重要？MEMS傳感器核心為MEMS芯片——用來感知信號，以及ASIC芯片——用來處理信號，其中MEMS芯片是技術含量最高的部件。

▲MEMS聲學傳感器構造圖（來自歌爾微招股書） 當前，中國絕大部分本土MEMS企業，采購海外傳感器企業設計好的芯片以及與傳感器配套的其他芯片如ASIC信號調理電路芯片，自行或委托代工廠完成傳感器的封裝和測試，再將傳感器成品銷售給下游終端客戶。 未來，受國外技術進口、國內市場倒逼以及下游封裝市場等因素的影響，中國本土企業自主化能力提高，大部分中國MEMS企業將向Fabless模式演變，MEMS研發中試線平臺將能有力幫助這些企業提高自主設計能力。 隨著本土傳感器企業成為具備芯片設計能力的Fabless公司，中國傳感器產業整體水平將能得到巨大提升，也能倒逼國內MEMS產線擴張，去除芯片“卡脖子”的隱憂。 因為MEMS傳感器的瓶頸不在于先進的晶圓制造設備，而在生產工藝、技術的調校上，MEMS中試線將能加快企業芯片設計和工藝研發進展。

2、極大降低傳感器企業的研發成本 MEMS智能傳感器產業與其他高新科技產業一樣，是一個技術、人才、資金密集的產業。 如下圖所示，智能傳感器產業鏈非常長，涉及數十個環節，產業鏈的每個環節投入都較大，單一企業很難獨自承受產業鏈所有環節所需要的技術知識、人力成本及設備投入，且只有每個環節的產量足夠大，才能覆蓋其綜合成本，因而，智能傳感產業發展呈現出專業化、規模化和智能化的特點，即每個環節都可成為一家獨立的公司參與到產業鏈的生態發展，而生產制造環節是所有環節中投入最大的部分。

▲來源：深圳市MEMS產業發展白皮書 據中原智能傳感研究院執行院長李揚介紹：

以MEMS中試線和量產代工線投資為例，一條8吋的MEMS中試線，以月產能3000-5000片為例，總投資在10億以上。包括廠房建設、超凈間建設、危廢處理等附屬設施、設備等，其中設備的投資占50%。每年的運維費用，超凈間維護費用在4000萬左右，其中電費占50%，因半導體設備的高精度和高可靠性要求，需長時間保持運轉或待機狀態。以賽微電子亦莊8吋線為例，規劃月產能3萬片，一期建設產能1萬片/月，建設投資25.9億，且后續還需要持續的投入研發。行業的資金投入程度可見一斑。

同時，MEMS傳感器芯片與一般芯片不一樣的是，其工藝制造和調校更復雜，需要更多的與MEMS產線精密結合的工作，其研發流片過程更長、更久，一般企業無法承受如此昂貴的研發成本。 通過建設MEMS研發中試平臺，打造共享研發中心，為傳感器企業提供傳感器芯片流片服務、封裝服務和測試服務，將能極大降低傳感器企業的研發成本，提高企業市場存活力和競爭力。

3、地區傳感器產業高質量發展的核心 粵港澳大灣區打造智能傳感器產業，要建MEMS產線/中試線；鄭州傳感谷、蚌埠傳感谷，同樣要建MEMS中試線；老牌智能傳感器產業園，幾乎都有MEMS產線/中試線作為底子。 可見，要打造智能傳感器產業園，地區要發展智能傳感器產業，建設MEMS中試線已成為共識。為什么要建MEMS產線/中試線？因為這是地區傳感器產業高質量發展的核心、主心骨。 這里有兩個例子：

蘇州納米城提前布局，自2014年MEMSRIGHT的中試線貫通后，借助蘇州納米所的研發基礎，圍繞MEMSRIGHT中試線，構造了“納米技術應用產業生態圈”，經過8年多的發展，截至2021年9月累計建成載體近50萬平方米，集聚各級領軍人才超250人，入駐企業和科研機構超400家，其中科創板上市企業2家（其中不乏敏芯微這樣的獨角獸企業），國家高新技術企業近90家，中科院蘭化所蘇州研究院等中科院下屬機構5家，蘇州劍橋等4個國外納米創新中心，已經成為國內發展最好的傳感產業園區。

相反的是，常州2015年就提出打造“中國國際傳感谷”，建設傳感小鎮，但由于常州并沒有建設支撐MEMS傳感器發展的核心研發中試平臺，而成為一個普通的招商產業園，現在已經鮮為人知了。

一個地區的傳感器產業，沒有建設好MEMS研發中試平臺，就很難發展核心技術，開發特色工藝，不斷孵化創新性企業，吸引產業上下游聚集，形成產業鏈。 結語：中國傳感器產業升級前夕 深圳粵港澳大灣區MEMS中試線的建設腳步加快，背后更有多家巨頭參與。 而在不久前的9月20日，廣州增芯科技傳感器MEMS量產線項目主體封頂，國內首條MEMS 12英寸晶圓量產線的建設將進入下一個階段。 隨著廣東省這兩條具有標志性意義的MEMS產線逐步落地，粵港澳大灣區智能傳感器產業有望迎來爆發，并促進本土智能傳感器企業的升級。 除廣州、深圳外，蚌埠重慶合肥鄭州嘉定紹興等等地區的智能傳感器產業園、傳感谷，都將迎來一大波MEMS產線/中試線的新建、擴建浪潮。 在堅實的國產MEMS晶圓產線的支撐下，未來將有更多采購封裝的組裝廠模式的國產傳感器企業，實現MEMS芯片設計等自主技術的提升，這才能擺脫中國傳感產業被卡脖子的困境！ 審核編輯 黃宇