我們應(yīng)用簡單的Fulop模型對平行平面結(jié)進(jìn)行了分析,對復(fù)雜的Chynoweth模型進(jìn)行了化簡,由化簡的公式可得碰撞電離率積分和外加電壓之間存在一定的關(guān)系。
這一關(guān)系通常可以用Miller公式 ^[38]^ 表征,即:
(1)
其中的I為碰撞電離率積分,V為外加電壓,VB為結(jié)的擊穿電壓,S為Miller常數(shù)。
在設(shè)計器件時,耐壓設(shè)計是很重要的一環(huán)。這關(guān)系到耐壓區(qū)摻雜,厚度等一系列問題。Miller公式可以用于判斷開基區(qū)晶體管或Shockley二極管的正向阻斷電壓。Miller公式中S參數(shù)與摻雜濃度存在著密切關(guān)系。
此次,我們將基于已有的Miller公式,應(yīng)用MATLAB對不同漂移區(qū)摻雜濃度下的S參數(shù)進(jìn)行確定,提出參數(shù)S與漂移區(qū)摻雜濃度N的擬合公式,并驗證其準(zhǔn)確性。
此處依然采用MEDICI中的準(zhǔn)確的Chynoweth模型對碰撞電離率積分進(jìn)行提取:
(2)
(3)
因此碰撞電離積分可表示為:
當(dāng)電壓達(dá)到雪崩擊穿電壓時,電流急劇上升,勢壘區(qū)流出的載流子電流遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于流進(jìn)的載流子電流,二者的比值稱為雪崩倍增因子,用符號M來表示。
經(jīng)計算M與碰撞電離率之間關(guān)系為
:
當(dāng)發(fā)生雪崩擊穿時,M趨向于無窮大,則I等于1,即碰撞電離率積分等于1時的外加電壓就是所謂的雪崩擊穿電壓VB。此時勢壘區(qū)對應(yīng)的最大電場為擊穿電場E c 。
可以采用extract語句在MEDICI對碰撞電離率積分進(jìn)行提取。
結(jié)果下圖1所示:
圖1 碰撞電離率積分與外加電壓的關(guān)系圖
從圖1中可以看出擬合出的碰撞電離率積分與外加電壓的關(guān)系曲線(紅色曲線)與提取出的碰撞電離率積分與外加電壓關(guān)系曲線圖(黑色曲線)幾乎完全重合。
具體結(jié)果如表1所示:
表1.不同濃度下的擊穿電壓和S值
從表1中可以看出隨著N區(qū)摻雜濃度的變大,擊穿電壓和S值逐步下降。
得到了如下兩個關(guān)系式:
(4)
(5)
圖2 擬合曲線與真實曲線的比較
本文闡述了雪崩擊穿電壓與輕摻雜區(qū)濃度變化的關(guān)系,對碰撞電離率積分與外加偏壓的關(guān)系和Miller公式中S參數(shù)與輕摻雜區(qū)濃度的關(guān)系應(yīng)用MATLAB進(jìn)行了擬合,得到了近似的I-V表達(dá)式,S-N表達(dá)式,并對這些表達(dá)式進(jìn)行了準(zhǔn)確性的驗證。
這種關(guān)系的確定,對分析開基區(qū)晶體管或晶閘管(如Shockley二極管)的正向阻斷電壓時有一定的借鑒意義。
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