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淺談SiC MOSFET芯片的短路能力

CHANBAEK ? 來源:技術(shù)田地 ? 作者: 王民 ? 2023-12-13 11:40 ? 次閱讀

SiC MOSFET芯片的短路能力是非常差的,目前大部分都不承諾短路能力,有少數(shù)在數(shù)據(jù)手冊上標(biāo)明短路能力的幾家,也通常把短路耐受時間(SCWT:short circuit withstand time)限制在3us內(nèi)。

這個相比Si基IGBT動輒6us甚至10us的時間,降低了很多,最近看了一些資料,嘗試著理解一下。

從最基本的邏輯出發(fā),芯片發(fā)熱是芯片內(nèi)部的電流做功引起的,因此主要考慮電流和芯片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)。

先看Si IGBT模塊的結(jié)構(gòu):

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我們可以看到,一顆IGBT芯片焊接在DBC襯板上,芯片底部是集電極(Collector),和散熱的銅連接,頂部是發(fā)射極(Emitter),和鍵合線相連(圖中未畫出),電流方向從C到E。

我們都知道,IGBT工作的時候,本來電阻較高的N-漂移層,由于電導(dǎo)調(diào)制效應(yīng),載流子被注入,這就導(dǎo)致N-漂移層的電導(dǎo)率很高,因此大電流流過這個區(qū)域的時候,壓降ΔV drift很小,此區(qū)域的發(fā)熱功耗P=ΔV×I就很小,因此在N-區(qū)不會產(chǎn)生大量的熱量。

IGBT的壓降主要是來自哪里?其實主要是襯底的P到N這個場截止層,從下圖的紅色電場分布看得出來,電場主要是由靠近集電極的PN結(jié)來承受。

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根據(jù)發(fā)熱功率P=ΔV×I,這個ΔV很大,因此這個P很大,發(fā)熱主要是靠近IGBT芯片底部的集電極。

再看第一張圖,IGBT芯片底部,那不正好是散熱的覆銅板嗎?所以這個熱可以很快擴散,相對來說容易散出去。

再看SiC MOSFET的結(jié)構(gòu):

圖片

大家不要被這張圖騙了,圖是對的,但是下面那個N+SUBSTRATE厚度比例不對,圖中N-DRIFT層的厚度是10um,而N+SUBSTRATE的厚度,是200um左右!

MOS結(jié)構(gòu)就很簡單了,導(dǎo)通的時候沒有PN結(jié),是通過MOS溝道導(dǎo)電的,因此,哪個地方發(fā)熱嚴(yán)重完全取決于哪個地方的電阻大!

直接上圖(感謝Anant Agarwal教授的資料)

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可以看到,溝道電阻和外延層占比遙遙領(lǐng)先!根據(jù)最簡單的安培定理

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可以得出,SiC MOSFET芯片發(fā)熱最嚴(yán)重的區(qū)域是MOS溝道和外延層,也就是芯片的頂部區(qū)域!

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對于溝槽SiC來說也差不多,因為溝槽SiC電阻最大的區(qū)域是外延層,也靠近芯片的頂部。

這下就不太好搞了,因為散熱板在芯片底部,但是發(fā)熱集中在芯片頂部,因此SiC MOSFET芯片短路時的散熱天然要差一些,畢竟導(dǎo)熱銅襯板離熱源還有點遠(yuǎn)。

當(dāng)然,不能完全只看壓降和電阻,Si IGBT和SiC MOSFET芯片本身的尺寸以及電流大小也要看的。

圖片

上圖是英飛凌做的一個對比,我們簡單算一下,一個標(biāo)稱300A的IGBT芯片,尺寸10mm×10mm,短路電流差不多2000A。

一個標(biāo)稱120A的SiC MOSFET芯片,尺寸5×5mm,短路電流差不多1200A來算。

IGBT短路電流密度:2000/100=20A/mm2

SiC MOSFET短路電流密度:1200/25=48A/mm2

僅僅是電流密度大了2.5倍,再加上發(fā)熱位置是芯片散熱較差的頂部,SiC 芯片短路能力比IGBT差也是情理之中。

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如圖,可以看到,大部分發(fā)熱集中在SiC MOSFET芯片頂部。

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圖源:英飛凌

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再看看IGBT的溫度分布,就要均勻很多。

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