萬業企業旗下子公司凱世通近期向兩家客戶分別提供了多部12英寸集成電路低能大束流離子注入機，此舉標志著凱世通設備在在經過客戶端設備驗證之后，迅速獲得大量訂單。

離子注入機在芯片制造中具有重要地位，不僅驗證困難，研發難度也極高，被視為當前半導體發展的核心裝備和必需的國產替代設備。其中，低能大束流離子注入機占據大約60％的市場份額。由于技術門檻較高，其研發和生產技術與國際領先水平還有較大差距。

據業內人士透露，凱世通長期專注于該行業，產品已應用于邏輯、存儲、功率等多個應用領域。他們所生產的低能大束流離子注入機和高能離子注入機已經實現了產業化突破，無論是工藝覆蓋面，還是良品率，甚至產能，都處于業界領先位置。公司堅持正向設計和自主創新，掌握了大束流離子源、視覺對準系統、高均勻性AMU、固態源蒸發器、束流均勻性調節裝置、減速裝置等一系列關鍵技術模塊，成功解決了極低能和大束流之間的技術難題。

除此之外，為了提升精度，減少污染，以及提高產能，凱世通研發了五軸控制的機器人、高精度視覺對準系統等硬件和基于物理模型算法和專家系統的Beam Auto Tune軟件系統，實現了離子注入機工作過程中的智能控制。而他們的離子注入機現在已經具備了Glitch自動修復功能，確保了機器在任何環境下都能安全、穩定地運行。其中，在今年上半年，凱世通共獲得了139項專利授權，包括83項發明專利。這些成果使得凱世通榮獲“中國半導體領域高質量引領企業”稱號，并成為首個完成國產高能離子注入機產線驗證和驗收的廠商。