來源：半導體芯科技編譯

Veeco Instruments 已向位于臺灣新竹科學園區的半導體和光電子客戶 Hermes-Epitek 交付了一套 GEN20-Q 分子束外延 (MBE) 系統。

GEN20-Q MBE 系統是專為量子器件生長而設計的多腔室系統，將用于超導體和半導體材料的外延生長，具有優異的晶體和超導特性。這種工藝能力將進一步提高關鍵器件的特性，并實現從研究開發到大批量生產的規模化。

Veeco MBE 集團高級營銷總監 Matthew Marek 評論說："GEN20-Q 系統的出貨代表了 Veeco 對量子計算技術革命的持續貢獻。"領先的技術公司認可我們的知識和工藝能力，不僅通過 MBE 平臺，還通過原子層沉積來支持量子技術，對此我們深感自豪。這些都是有助于推動行業進步的重要技術。我們期待與 Hermes-Epitek 這樣的合作伙伴一起不斷創新。

根據 Yole Group 發布的《2023 年量子技術》報告，量子技術投資已超過 300 億美元，其中約 75% 用于量子計算硬件。

Veeco 的 GEN20-Q MBE 系統采用量身定制的設計，支持多種量子計算技術的研究和生產，包括超導材料、自旋電子學和高速光調制。該系統采用了生產設計技術，可直接擴展到 Veeco 的多晶片大批量制造 MBE 系統。該系統的出貨體現了 Veeco 在建立旨在推動量子技術發展的量子計算合作伙伴網絡方面所取得的成功。Veeco 為能夠站在這些激動人心的發展的前沿而感到自豪，并很高興能夠繼續與其合作伙伴合作，推動行業發展。

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審核編輯 黃宇