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如何利用簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)的制造工藝實(shí)現(xiàn)雙面織物應(yīng)變傳感器陣列呢?

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-03-14 09:07 ? 次閱讀

電子紡織品可以提供具有各種電氣功能的絕緣柔性基底,并已廣泛應(yīng)用于能量采集、醫(yī)療康復(fù)、人體運(yùn)動(dòng)檢測(cè)和人機(jī)交互等領(lǐng)域。雖然單個(gè)織物傳感器可以在可穿戴應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)超高性能,但不足以準(zhǔn)確檢測(cè)人體的空間壓力/觸摸/應(yīng)變分布。此外,當(dāng)單個(gè)傳感器損壞時(shí),可穿戴設(shè)備將無法運(yùn)行。當(dāng)多個(gè)傳感器在陣列中并聯(lián)連接時(shí),即使其中一個(gè)傳感器損壞,也可以保持設(shè)備的整體功能。因此,織物傳感器陣列的設(shè)計(jì)和制造非常重要。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,香港理工大學(xué)和華南理工大學(xué)的研究人員通過使用單一導(dǎo)電復(fù)合漿料印刷傳感區(qū)域和互連,在彈性織物基底上制備了一種雙面應(yīng)變傳感器陣列。通過控制印刷漿料的粘度,除特定位置的通孔之外,多孔織物兩側(cè)的導(dǎo)電軌道都被絕緣。通過使用簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)的方法進(jìn)行制造,這種織物應(yīng)變傳感器陣列表現(xiàn)出較好的一致性、可靠的連接接口、足夠的環(huán)境穩(wěn)定性和較長(zhǎng)的疲勞壽命(~10,000次循環(huán)載荷)。相關(guān)研究成果以“A novel double-sided fabric strain sensor array fabricated with a facile and cost-effective process”為題發(fā)表在Sensors and Actuators A: Physical期刊上。

在這項(xiàng)研究中,通過在織物的每一側(cè)印刷炭黑硅彈性體(CB-SE)復(fù)合材料,并通過填充相同復(fù)合材料的通孔連接兩側(cè),制備了雙面織物基應(yīng)變傳感器陣列(FSSA)。該傳感器陣列的尺寸被設(shè)計(jì)為約15 cm長(zhǎng)和11 cm寬,每個(gè)傳感器的水平距離為9 mm,垂直距離為20 mm,?上、下互連的尺寸均為14 cm長(zhǎng)和1.5 cm寬。

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織物傳感器單元和傳感器陣列的設(shè)計(jì)

該傳感器陣列的制造過程如下圖所示,包括(a)印刷頂部導(dǎo)電圖案;(b)印刷底部導(dǎo)電圖案;(c)穿過兩層打孔;(d)在頂層和底層分別用復(fù)合材料填充孔;(e)在傳感器陣列的兩側(cè)印刷封裝層;(f)安裝用于外部電氣連接的金屬按鈕。

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雙面織物應(yīng)變傳感器陣列的制造過程

為了檢驗(yàn)FSSA設(shè)計(jì)的合理性,有必要對(duì)傳感器單元的性能、雙層電路的絕緣和連接測(cè)試以及FSSA在循環(huán)應(yīng)變下的一致性和穩(wěn)定性進(jìn)行評(píng)估。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,所得織物傳感陣列表現(xiàn)出高性能、優(yōu)異的一致性、層與層之間穩(wěn)定的連接以及超過10,000次循環(huán)應(yīng)變的超長(zhǎng)疲勞壽命。

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傳感器的性能測(cè)試

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雙層電路的絕緣和連接測(cè)試

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FSSA的一致性和穩(wěn)定性測(cè)試

將FSSA安裝在膝蓋上,以檢測(cè)膝蓋彎曲運(yùn)動(dòng)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。結(jié)果表明,F(xiàn)SSA具有動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)和實(shí)時(shí)繪制身體運(yùn)動(dòng)應(yīng)變空間分布的能力,可用于運(yùn)動(dòng)員成績(jī)?cè)u(píng)估和下一代康復(fù),優(yōu)于單一傳感器。

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FSSA的應(yīng)用

總而言之,研究人員采用單一導(dǎo)電材料印刷工藝來制造基于織物的雙面應(yīng)變傳感器陣列,在傳感區(qū)域和互連之間具有可靠的接口。通過控制印刷漿料的黏度,制作雙面可拉伸電路,實(shí)現(xiàn)雙面之間的絕緣和連接,確保器件具有可靠的跨層連接和絕緣。所得織物傳感陣列表現(xiàn)出高性能、優(yōu)異的一致性、層與層之間穩(wěn)定的連接以及超過10,000次循環(huán)應(yīng)變的超長(zhǎng)疲勞壽命。研究人員提出了一種具有較低串?dāng)_誤差(小于1%)和電路復(fù)雜度的GND連接電阻矩陣方法來獲取織物應(yīng)變傳感器陣列的電阻信號(hào),從而解決了從傳感單元到硬互連的接口連接問題,并為可拉伸多層電路的設(shè)計(jì)提供了參考。

在未來的工作中,研究人員將進(jìn)一步降低互連電阻和器件尺寸。這項(xiàng)工作基于一種材料印刷的生產(chǎn)方法,其中互連需要大面積,而傳感區(qū)域需要大的縱橫比來滿足生產(chǎn)要求,導(dǎo)致器件面積很大。高密度和高精度傳感器陣列在可穿戴應(yīng)用中很受歡迎。該研究?jī)H考慮了器件的二維(2D)尺寸,因此難以進(jìn)一步降低互連電阻和器件尺寸。在未來的研究中,將研究長(zhǎng)寬高比,以減小器件的面積,實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的傳感器陣列。

論文信息:
https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115208




審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:利用簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)的制造工藝實(shí)現(xiàn)雙面織物應(yīng)變傳感器陣列

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