壓力檢測在微機電系統和智能可穿戴傳感領域具有重要意義，已經在工業、軍事、科學研究和日常生活中獲得廣泛應用。迄今，人們在壓力傳感器領域的探索、開發和商業化方面已經取得了矚目的成果。研究表明，由于壓阻效應具有線性范圍寬、集成能力強、耐用可靠等優點，仍然是壓力傳感器采用的主要檢測原理。

然而，壓阻響應的靈敏度受到傳感材料固有特性的限制，這取決于電阻率和載流子遷移率。為了提高靈敏度，人們提出了各種策略，如優化晶體取向、摻雜雜質以及使用特殊材料等。盡管取得了一些進步，但基于壓阻特性的傳感器通常涉及復雜的制造工藝，需要外部電路和電壓源，而且響應速度相對較慢，這限制了其在快速壓力變化檢測中的應用。因此，迫切需要開發一種基于替代物理機制的創新型壓力傳感器，以提供簡單可靠的制備方法、基于能量收集的自供電能力，以及更快的響應速度。

利用材料的壓電特性已成為一種很有前途的壓力檢測方法，尤其是在非中心對稱半導體中。當對壓電材料施加壓力時，會產生極化電荷，從而改變能帶結構并操縱系統中電荷載流子的傳輸。這將導致輸出電流或電壓發生變化，從而可用于確定壓力信號。此外，引入光照射可以優化電荷載流子的產生、分離、傳輸和重組過程，從而通過壓電光電效應提高傳感性能。雖然在不同的系統中都觀察到了壓電光電效應，但在壓力傳感器中尚未得到充分利用。此外，瞬時光照射也會誘發熱釋電勢，從而進一步調節光電過程。通過將熱釋電效應與壓電效應相結合，壓力傳感的靈敏度有望得到顯著提高。

最近的研究表明，即使非中心對稱材料作為附加層或非光敏層存在，仍能實現出色的偏振調制。這擴大了它們在各種結構壓力傳感器中的適用性。然而，目前對整合壓電、光激發和熱釋電效應的新型壓力傳感器的研究還很有限。因此，迫切需要進一步探索和開發利用這些組合效應的壓力傳感器，以充分挖掘它們在壓力傳感應用中的潛力。

據麥姆斯咨詢介紹，河北大學物理科學與技術學院、河北省光電信息與材料重點實驗室的研究人員提出了一種新型傳感機制，利用由銅銦鎵硒（CIGS）組成的單片多層異質結來檢測壓力。這種傳感機制結合了過剩載流子的光激發、載流子輸運改性的壓電性以及優化非均勻光照下橫向光電效應（LPE）中光電過程的熱釋電性。通過利用產生表面電荷載流子梯度的特殊照明，可誘發橫向光電壓（LPV），從而展示了傳感器的自供電特性。

為了控制LPE性能，利用壓電光電效應將具有c軸取向的均勻氧化鋅納米線陣列集成到異質結中。當對異質結施加垂直壓力時，氧化鋅納米線中由壓力引起的壓電勢會改變能帶結構，增強光生電荷載流子的傳輸，提高輸出LPV。LPV的增強取決于激光位置、功率和波長，與0~2.0 MPa外部壓力呈現了極好的線性關系。這表明了其寬廣的線性響應范圍和穩定的壓力靈敏度。此外，瞬態溫度變化誘導的熱釋電勢與脈沖激光照射下通過熱釋電光電子效應促進的載流子梯度相耦合，最終實現了64.25 mV/MPa的最佳壓力靈敏度和7.8/8.9 μs的驚人快速響應。這項研究提出了一種利用單片結構開發基于壓電-熱釋電光電子效應的超快、高靈敏度、自供電壓力傳感器的新方法。

該研究成果已經以“Ultrafast, self-powered monolithic pressure sensing technology induced by piezo-pyrophototronics”為題發表于Nano Energy期刊。

論文鏈接：
https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2024.109480

審核編輯：劉清