使用復制工藝,可以將由兩個不同的主光柵制成的復制光柵組合成單個光柵。
具有不同凹槽間距的兩個(或多個)光柵可以以這種方式組合。然而,由于每個凹槽圖案的色散不同,光譜通常會單獨成像。這種性質(zhì)的光學元件將充當兩個不同的光柵,其位置和取向相對于彼此是固定的。
然而,具有相同凹槽間距的光柵可以以這種方式組合,以形成表現(xiàn)得像單個光柵的部件,但具有由各部分的效率的加權(quán)平均值(由每個部分的照明面積加權(quán))形成的效率曲線。由于可用凹槽輪廓的限制,這種雙閃耀光柵可以提供傳統(tǒng)生產(chǎn)的光柵無法實現(xiàn)的效率曲線。可以選擇兩個部分的相對面積來調(diào)整整個光柵的效率行為。
雙閃耀光柵是通過小心地將兩個不同光柵的子光柵復制到一起來制造雙閃耀子光柵,該子光柵本身是使用傳統(tǒng)方法復制的。以這種方式制造的光柵表現(xiàn)出λ/4或更小的波前畸變,并表現(xiàn)出單刻劃光柵無法獲得的效率特性,因為它們的效率曲線具有更低和更寬的峰值(見圖1-1)。
圖1-1 雙閃耀光柵的效率曲線。兩個刻劃光柵G1和G2,具有相同的凹槽間距,但在250nm和450nm處閃耀,并且組合以形成雙閃耀光柵G。照射兩個光柵中的每一個的相等區(qū)域以產(chǎn)生具有固體效率曲線的光柵。
審核編輯 黃宇
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