半導體行業的精進不斷推動著光源技術的發展。172nm準分子燈作為一種專業的光源，以其獨特的光譜特性，在半導體制造的多個關鍵環節中展現出了巨大的應用潛力。

廣明源20多年來專注于光科技應用的研發與制造，致力于為合作伙伴提供高性價比的光科技解決方案。本文我們共同探討172nm準分子燈在光清洗、光固化、親水改性以及純水制備TOC降解這四個方面的應用。

光清洗應用

在半導體芯片制造過程中，基材表面的清潔度對器件性能有著直接影響。172nm準分子燈發出的深紫外線光能有效清除基材表面的有機污染物和微粒，實現高精度的光清洗。

應用優勢：

●高清潔效率：深紫外線光子能量足以斷裂大多數化學鍵，實現快速清洗。

●無殘留清洗：避免了化學清洗劑殘留可能引起的二次污染。

光固化應用

光固化技術在半導體行業同樣發揮重要作用，利用172nm準分子燈提供的高能光子，快速引發光敏材料的聚合反應，加速固化過程。

應用優勢：

●快速固化：172nm準分子燈可釋放高能深紫外光，有助于縮短生產周期，提高制造效率。

●表面固化：172nm紫外光發出高能輻射，使分子鍵斷裂，促進不同單體分子發生交聯反應，實現材料表層的功能性固化。

光改性應用

除了光清洗和光固化，172nm準分子燈還在親水改性方面展現出獨特優勢。通過其紫外線能量，對半導體器件的材料表面進行親水改性，增強表面活性，改善器件的濕潤性和粘附性，從而提升器件的整體性能。

應用優勢：

●改善濕潤性：通過降低表面張力提升親水性，進而改善潤濕性能。

●增強粘附力：親水改性有助于提高材料間的粘附力，對封裝工藝尤為重要。

純水制備TOC降解應用

在超純水（Ultrapure Water）的制備過程中，172nm準分子燈同樣發揮著重要作用。它能夠有效降解水中的總有機碳(TOC)，將水中TOC含量降低到ppb級別。

應用優勢:

●高效降解：深紫外線能夠有效分解有機污染物，降低TOC含量。

●確保水質：為半導體工藝提供穩定可靠的超純水。

172nm準分子燈在半導體行業的應用展現了其作為光源技術的多功能性和高效性。從提升清洗效率到改善材料特性，再到確保水質純凈度，172nm準分子燈正成為半導體制造中不可或缺的工具。隨著技術的不斷進步，其應用范圍預計將進一步擴大，為半導體行業帶來更多創新可能。我們熱切期待與您共同探索172nm準分子燈在工業的更多應用潛力。