9月10日，在亞洲最高規格的傳感器與物聯網行業盛會——2017中國（上海）國際傳感器技術與應用展覽會（簡稱“SENSOR CHINA”）的開幕式暨2017全球傳感器與物聯網產業峰會上，多位院士及眾多業界領袖濟濟一堂，中國科協副主席、中國科學院院士王曦，工信部原副部長楊學山，國家集成電路產業投資基金總經理、中國高端芯片聯盟理事長丁文武，工信部電子司副司長吳勝武，上海科學技術委員會主任壽子琪，上海市嘉定區委書記馬春雷共同啟動上海微技術工業研究院“超越摩爾”研發中試線運營。自此，由上海微技術工業研究院（以下簡稱“工研院”）構建的國內首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中試線正式向業界發聲，在打造中國完整的“超越摩爾”產業鏈基礎上，旨在進一步推動中國“超越摩爾”技術和物聯網創新應用快速發展，引領全球。

圖1 工研院“超越摩爾” 8英寸研發中試線剪彩儀式完善國內超越摩爾產業生態鏈布局，8英寸研發中試線助攻創新研發當前，以移動互聯網、物聯網、云計算、大數據、人工智能等為代表的信息技術正加速創新、融合和普及應用，一個萬物互聯智能化時代正在到來。其中，超越摩爾技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現萬物互聯的基礎性、決定性核心技術之一。事實上，傳感器的市場應用已呈現爆發式增長態勢，產品種類豐富，多達上千，此前美國舉行的MEMS Bryzek預測MEMS芯片市場將在2023年達到1兆片（trillion）的市場規模，同時，中國智能傳感器市場也預計將于2019年達到960億元。然而，縱觀我國超越摩爾領域現狀，雖經歷多年的理論研究與技術驗證，積累了大量寶貴的知識和經驗，但在真正放進產品進行實際應用時往往存在與生產平臺脫節的情況。這都是源于MEMS產品的研發所涉及的技術鏈條較長，且其“非標”特性使得它的研發與創新需要和產線有一段比較長的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說對產線“嚴重依賴”。而中試就是必經階段，是目前國內傳感器廠家共同面臨的挑戰，據統計，科技成果經過中試，產業化成功率可達80%，未經中試成功率僅有30%。基于此背景，工研院立足擁有國內一流集成電路研發和產業基礎的上海，志在實施超越摩爾計劃，爭取在這一領域與國際領先水平并行。落地上海嘉定工業區，近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房內，工研院與國際領先的晶圓廠密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發中試線，不僅實現了從研發到量產的無縫銜接，更豐富完整了國內的超越摩爾生態鏈，是對標國際產業競爭的關鍵一環。

圖2 SITRI 8英寸研發中試線工藝能力布局圖目前，在“超越摩爾”領域，相比于業界普遍使用的6英寸產線，貫通從研發到量產全程服務的SITRI 8英寸線是公認的領先技術。據悉，8英寸研發中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產品技術的開發，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發，并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發中試線，SITRI的8英寸研發中試線不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率，更將助力實現 “超越摩爾”產品和技術從研發到量產的無縫銜接。工研院一體化功能平臺將加速“超越摩爾”領域的創新和產業化進程

圖3 SITRI致力于打造“超越摩爾”產業創新生態以全球領先的“超越摩爾”8英寸研發中試線為支點，工研院試圖打造集研發、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創新企業及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案： - 在研發創新環節：工研院建立了全國首個成熟、完善的MEMS-IC軟件設計平臺、開發MEMS-ICIP核庫；近5000平方米的先進“超越摩爾”研發8英寸研發中試線更將專注于新工藝、新材料及新器件的開發與整合；同時提供集成電路設計、系統集成及以及完整物聯網系統解決設計方案；- 在中試制造環節：工研院建立全球領先8英寸MtM研發中試線、世界先進的工程測試分析平臺、MEMS/ASIC的晶圓測試、封裝測試等測試能力；提供完整的專利及器件分析、研究服務，并提供知識產權許可、保護及談判方面的專家級指導；- 在產業整合領域：工研院將進一步推動例如汽車電子、智慧醫療、智能安防、智能家居、智能消費類產品等細分物聯網市場與傳感產業進行垂直產業鏈與橫向服務市場的整合，推進相關產業的快速發展；發起并參與例如中國傳感器與物聯網產業聯盟，“超越摩爾”產業技術創新聯盟等產業聯盟，更將推動 “超越摩爾”及物聯網產業的關鍵標準方面制定，并通過SENSOR CHINA等展會與系列活動提供全球范圍的市場支持；- 構建全球創新網絡：工研院在美國硅谷、法國格勒諾布爾、***新竹等地建立分支機構，在全球范圍內布局創新網絡；- 投資基金與孵化加速器：由工研院、國家集成電路產業投資基金以及其他戰略投資人共同發起成立規模為50億元的“超越摩爾”產業基金，為創新企業提供關鍵的早期支持；并配套全球化創新網絡提供軟硬件結合的孵化服務。總之，以8英寸線強勁的技術支持為依托，以投資基金和孵化加速器為支撐，工研院致力于“超越摩爾”領域和物聯網行業初創團隊的投資與孵化，讓產業資源和資金優化配置，加快技術研發和企業孵化，在全球范圍內布局創新網絡，真正營造“超越摩爾”產業創新生態。關于SITRI：上海微技術工業研究院致力于“超越摩爾”技術和物聯網應用的創新和產業化。作為全球性的協同創新中心，上海微技術工研院集研發、工程、孵化于一體，為創新企業及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案。目前，上海微技術工研院已和國內外眾多的產、學、研組織建立了緊密的合作關系，實現創新成果的高效率產業化，加速“超越摩爾”技術和物聯網的生態系統建立。