Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優化
上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀, 基于四級桿的質量分離, Aston 質譜分析儀設計緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監測, 滿足半導體工藝過程中, 沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.
Aston 質譜分析儀 CVD 清洗終點優化
選擇 clean 的反應物或者生成物, 使用 Aston 相對定量分析其中的氣體成分, 可以動態判斷 CVD 清潔過程的刻蝕終點的時間. 不論是氣體的節省和工藝時間的節省都可以最大程度的增大產能.
Aston 質譜分析儀
Aston 質譜分析儀與腔室連接
Aston 質譜分析儀
Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀基本參數
型號 | Aston Impact-300 | Aston Impact-300DP |
質量分離 | 四級桿 | |
離子發生器 | 電子電離 EI | 電子電離 EI |
檢測器 | 法拉第杯 / 掃描電鏡 | |
真空系統 | 渦輪分子泵 | 渦輪分子泵 |
質量范圍 | 2-285 amu | |
檢測限 | 100 ppb | |
精度 | 0.5% | |
可重復性 | +/-0.5% over 24 Hr | |
耐腐蝕性氣體 | 輕微 | |
耐副產物氣體 | 是 | |
高速以太網 | 是 | |
氣體壓力覆蓋面廣 | 是 | |
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston?, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷, 為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率, 在現有生產工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內實現晶圓更高產量!
若您需要進一步的了解Atonarp Aston?在線質譜儀詳細信息或討論,
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