真實案例:
某客戶使用我們的MFC330時,發現重復性不佳;他多次測試,發現有時候重復性很好控制氣流穩定,但有時候無法達標,,覺得這個現象非常奇怪,于是聯系了我們的技術人員進行排查。
故障排查:
1.檢查氣路通道的氣密性,是否存在漏氣現象;
2.確認流量計預熱了5-30min(不少于5min)
3.檢查流量計是否有零漂現象,確認流量計已歸零;
4.聯系Aitoly工程師獲取技術支持(熱線電話:4008-919-886)
故障診斷:
在我們技術人員的逐步排查下,發現客戶在實驗臺進行MFC330測試時,有時候MFC預熱時間較短、未檢查零點是否已歸零。
MFC330是基于毛細管傳感器的熱式質量流量控制器,每次開機后需要5min-30min的預熱時間,且在開始工作前要確認流量計已經完成歸零。
解決方案:
建議用戶在MFM/MFC330開始工作前,進行必要的預熱,且檢查MFM/MFC330設備已歸零。歸零方式有兩種:1. 自動歸零 2.手動歸零。具體操作步驟參考MFM/MFC330產品說明書。
Tips:
1.開始MFC/MFM之前,需要檢查氣路是否漏氣,保證管路暢通、無漏氣。
2.開始工作前,需要讓MFC330系列流量計預熱5-30分鐘(5min-T95)
3.開始工作前,需要檢查零點已歸零。MFC330系列有自動歸零功能,但推薦對長期未運行的、或經歷過強烈震動的MFC/MFM,要特別關注儀表歸零。除了自動歸零功能之外,可手動歸零,具體參考說明書。
4.需根據說明書中的針腳定義正確接線,否則可能導致MFC/MFM內部電路板永久損壞。
5.建議用戶在量程范圍內使用,超出范圍外無法保證正常使用。
愛拓利專注于微小氣體流量精準測量和控制技術,是一家集研發、生產、銷售于一體的氣體質量流量計/控制器生產廠家。
愛拓利自主研發了具有完全自主知識產權的熱式和層流壓差式質量流量計/流量控制器,具有高精度、高重復性、高穩定性、快速響應等優勢,為半導體、光伏、生物制藥、科學儀器等高端制造業、科研和分析領域提供多種產品和解決方案。
愛拓利官網:www.aitoly.com
熱線電話:4008-919-886
審核編輯 黃宇
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