No.1

EBSD從原理到應(yīng)用

電子背散射衍射（EBSD）技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域中扮演著重要角色，特別是在掃描電子顯微鏡（SEM）中，它為研究者提供了一種獲取樣品晶體學(xué)信息的強大工具。EBSD技術(shù)不僅能夠測量晶體取向、分析晶界取向差異，還能鑒別物相和評估局部晶體的完整性。與傳統(tǒng)的金相、投射、XRD、掃描等表征方法相比，EBSD提供了更為豐富和直觀的晶粒取向信息。金鑒實驗室擁有先進的EBSD設(shè)備和專業(yè)技術(shù)團隊，能夠為客戶提供高質(zhì)量的晶體取向、晶界取向差異分析以及物相鑒別服務(wù)，幫助研究者更深入地理解材料的微觀結(jié)構(gòu)。

No.2

EBSD設(shè)備與樣品準備

作為SEM的附加組件，EBSD能夠提供包括晶間取向、晶界類型、再結(jié)晶晶粒、微織構(gòu)、相鑒別和晶粒尺寸測量在內(nèi)的全面分析數(shù)據(jù)。EBSD數(shù)據(jù)主要來源于樣品表面下10-50nm的區(qū)域，因此，在檢測時需要將樣品傾斜70°，以避免表面高處區(qū)域遮擋低處的信號。EBSD樣品的制備要求嚴格，需要保證樣品表面“新鮮”、清潔、平整、具有良好的導(dǎo)電性且無應(yīng)力。

No.3

EBSD的形成機制

EBSD設(shè)備通常安裝在SEM或電子探針上，樣品表面與水平面呈約70°角。當入射電子束進入樣品后，會與樣品內(nèi)原子發(fā)生散射，其中散射角較大的電子逃出樣品表面，這些電子稱為背散射電子。這些背散射電子在離開樣品的過程中，與樣品的某些晶面族滿足布拉格衍射條件時會發(fā)生衍射，形成菊池帶。每條菊池帶的中心線相當于發(fā)生布拉格衍射的晶面從樣品上電子的散射點擴展后與接收屏的交截線，形成電子背散射衍射花樣（EBSP）。EBSP通過CCD數(shù)碼相機數(shù)字化后傳送至計算機進行標定與計算。

No.4

EBSD的應(yīng)用范圍

EBSD技術(shù)已成為金屬材料、陶瓷和地質(zhì)礦物學(xué)家分析顯微結(jié)構(gòu)及織構(gòu)的強有力工具。通過采集到的數(shù)據(jù)，可以繪制取向地圖、極圖和反極圖，還可以計算ODF。

1. 取向測量及取向關(guān)系分析：EBSD最直接的應(yīng)用是進行晶粒取向的測量，研究晶界或相界、孿晶界、特殊界面等。

2. 微織構(gòu)分析：基于EBSD自動快速的取向測量，可以進行微織構(gòu)分析，了解這些取向在顯微組織中的分布。

3. 相鑒定：EBSD可以對七大晶系任意對稱性的樣品進行自動取向測量和標定，結(jié)合EDS的成分分析進行未知相的鑒定。

4. 真實晶粒尺寸測量：EBSD技術(shù)可以精確勾畫出晶界和李晶界，同時進行晶粒尺寸統(tǒng)計分析。金鑒實驗室結(jié)合EDS的成分分析，能夠為客戶提供全面的未知相鑒定服務(wù)，確保材料的正確應(yīng)用。

5. 應(yīng)變評定：從菊池衍射花樣的質(zhì)量可以直觀地定性分析超合金鋁合金中的應(yīng)變，識別無應(yīng)變晶粒等。

No.5

EBSD的優(yōu)勢

金鑒實驗室在這一領(lǐng)域擁有先進的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)團隊，能夠快速高效地為客戶提供全面的EBSD分析服務(wù)，確保每一項測試結(jié)果的可靠性。

1. 提供高精度的晶體結(jié)構(gòu)分析；

2. 獨特的晶體取向分析能力；

3. 樣品制備相對簡單；

4. 分析速度快，效率高；

5. 可在樣品上進行自動線、面分布數(shù)據(jù)點采集。

No.6

EBSD樣品的制備要求

EBSD樣品的制備要求嚴格，金鑒實驗室在樣品制備方面具備豐富的經(jīng)驗，能夠確保樣品達到最佳檢測條件，滿足各種實驗需求。

1. 試樣尺寸約為10mm×10mm×10mm；

2. 檢測面要新鮮、清潔、平整、無制樣引入的應(yīng)力，且導(dǎo)電性能良好；

3. 需要絕對取向時外觀坐標要準確；

4. 用電解法拋光樣品，研究晶界時可以不浸蝕；

5. 保持檢測面法線和入射電子束之間的夾角約為70°。

No.7

EBSD常見問題解答

金鑒實驗室針對常見問題提供專業(yè)解答，確保客戶在使用EBSD技術(shù)時能夠獲得最佳體驗。無論是陶瓷樣品的制備還是數(shù)據(jù)提取，金鑒實驗室都能提供切實可行的解決方案，助力客戶在材料科學(xué)研究中取得成功。

1. 陶瓷樣品導(dǎo)電性不好，如何制EBSD樣？

答：采用機械拋光或離子束拋光的方式制樣。

2. EBSD主要用來干什么？

答：織構(gòu)和取向差分析；晶粒尺寸及形狀分布分析；晶界、亞晶及孿晶界性質(zhì)分析；應(yīng)變和再結(jié)晶的分析；相簽定及相比計算等。

3. 陶瓷不導(dǎo)電也可以電解拋？

答：不能電解拋光。

4. 如何提取數(shù)據(jù)？

答：使用廠家提供的分析軟件或開發(fā)者編寫的專用軟件來分析數(shù)據(jù)。

5. EBSD還能看物相分布？

答：EBSD能進行物相鑒別，可以分析物相分布。EBSD技術(shù)以其獨特的優(yōu)勢，已成為材料科學(xué)研究中不可或缺的工具，尤其在晶體學(xué)、微觀結(jié)構(gòu)分析和織構(gòu)研究領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用潛力。金鑒作為國內(nèi)領(lǐng)先的光電半導(dǎo)體檢測實驗室，金鑒實驗室的EBSD技術(shù)，以其高效的速度和精準的分辨率，在材料表征領(lǐng)域中展現(xiàn)出卓越的性能，為材料科學(xué)研究提供了強有力的工具。