飛創(chuàng)高精度單軸直線模組為各行業(yè)的直線運動需求提供了高性能的解決方案。

飛創(chuàng)直線模組FCL系列采用直線電機直接驅(qū)動，搭配高精度的光柵或磁柵反饋系統(tǒng)，重復(fù)定位精度可達到±0.002mm，能夠滿足對精度要求極高的生產(chǎn)和加工場景。

得益于飛創(chuàng)獨有的直驅(qū)技術(shù)和大推力直線電機，F(xiàn)CL系列直線模組可實現(xiàn)最大水平負載 500kg，在搬運較重的物體或在需要承受較大負載的工作場景中具有良好的性能表現(xiàn)。

目前 FCL系列直線模組標準行程最大可達 60m，并可根據(jù)客戶要求定制行程，滿足一些對行程要求較高的應(yīng)用場景。最高速度可達 10m/s，最高加速度可達 6g，可以大大提高生產(chǎn)效率，縮短生產(chǎn)周期。

FCL系列直線模組被廣泛應(yīng)用于液晶面板、半導(dǎo)體、新能源、汽車制造、3C、精密加工、實驗裝置、包裝運輸?shù)戎T多行業(yè)，在半導(dǎo)體領(lǐng)域更是有著極為典型的應(yīng)用案例。

應(yīng)用案例一：晶圓搬運與定位系統(tǒng)

在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，對晶圓的搬運和精確定位要求極高。飛創(chuàng)直線模組被應(yīng)用于晶圓搬運設(shè)備中，憑借其高精度和高負載能力，能夠穩(wěn)定地搬運不同尺寸的晶圓。同時，在晶圓加工的各個環(huán)節(jié)，直線模組通過與高精度傳感器和控制系統(tǒng)配合，實現(xiàn)了晶圓的亞微米級定位精度，確保了半導(dǎo)體制造工藝的準確性和穩(wěn)定性。

應(yīng)用案例二：半導(dǎo)體檢測設(shè)備

半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量檢測是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)，飛創(chuàng)直線模組帶動檢測相機在芯片表面進行快速、精確的掃描，其高精度和高速度使得檢測過程更加高效和準確，能夠及時發(fā)現(xiàn)芯片表面的微小缺陷。

Faster motion飛創(chuàng)致力于（超長行程、超高速度、超高精度、超重負載、速度平穩(wěn)）單軸，多軸直線電機模組研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)，為高速、高精度運動平臺提供直驅(qū)技術(shù)解決方案。