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P35A.T35系列大行程壓電偏轉鏡

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2024-12-12 10:19 ? 次閱讀

P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點的二維運動壓電偏轉鏡。它可產生θx、θy二維偏轉,偏轉角度達±18.5mrad,空載諧振頻率達2kHz,可配置閉環傳感器,閉環重復定位精度可達0.025%F.S.。外觀采用方形的設計,在物理上實現空間的最大化利用便于集成,非常適合高精度大行程角度的快速偏轉應用。產品外觀如下圖所示。

產品特點

二維θx、θy偏轉

偏轉角度達±18.5mrad

空載諧振頻率2kHz

可定制

可選配閉環傳感器

產品應用

P35A.T35系列壓電偏轉鏡可廣泛應用于圖像處理/穩定、隔行掃描/抖動、光過濾/開關、激光掃描、光束偏轉與穩定、掃描顯微等光學應用。

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技術參數

型號 P35A.T35S/K
運動自由度 θx、θy
驅動控制 3路驅動,2路傳感
標稱偏轉角度(0~120V) ±14.8mrad/軸
偏轉角度(0~150V) ±18.5mrad/軸
傳感器類型 SGS/-
閉/開環分辨率 1.2μrad/0.4μrad
線性度 0.13%F.S./-
重復定位精度 θx0.05%F.S.,
θy0.025%F.S./-
空載諧振頻率 2000Hz
帶載諧振頻率 1800Hz
(負載Φ12.7×3mm鏡片)
1100Hz
(負載Φ24.5×3mm鏡片)
閉環階躍時間 7ms@Φ12.7×3mm鏡片
8ms@Φ24.5×3mm鏡片
電容 7.2μF/軸
材質 鈦合金、鋁
重量 155g

配套控制器

E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅動P35A.T35系列壓電偏轉鏡,采用模擬和數字控制,具有3個輸出通道,其中1通道輸出恒壓,非常適于差分驅動。此外,該控制器配備有傳感信號監測部分,可反饋體現壓電偏轉鏡偏轉角度的電壓信號,實現對偏轉鏡的高精確度控制。控制器可滿足電磁兼容試驗(CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103)、力學沖擊試驗(重力加速度20g)、22.6kPa低氣壓試驗(絕對值)等諸多嚴格的環境試驗。

wKgZPGdaSEyAXCxoAAAXaHZy9ww392.jpg

審核編輯 黃宇

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